基于遗传算法的半导体生产线调度研究进展.pdfVIP

第36卷第1期 同济大学学报(自然科学版) Vl01．36 No．1 2oo8年1月 JOURNALOFTONOJIUNIVERSITY(NATURALSCIENCE) Jan．2008 基于遗传算法的半导体生产线调度研究进展 曹政才，吴启迪，乔 非，王遵彤 (同济大学CIMS研究中心，上海 200092) 摘要：半导体生产线调度是制造系统实际生产中的重要问题，也是理论研究的难点之一．遗传算法是计算智能的主 要研究对象，因此基于遗传算法的半导体生产线调度研究，具有非常重要的研究价值和实践意义，已经引起了国内 外研究者的广泛关注．文中评述近几年来在半导体生产线调度优化中遗传算法的应用，详细介绍了算法编码、操 作、参数的选择、算法的改进及具体应用，并指出这一领域中值得进一步研究的一些问题和可能的发展方向． 关键词：半导体生产线；调度；遗传算法 中图分类号：TP 278 文献标识码：A 文章编号：0253—374X(2o08)0卜0097—06 Advances in Semiconductor Wafer Fabrication ScheduIing Based on Genetic Algorithm CAO Zhengcai，WU Q ，QIA0 Fei，WANG Zuntong (cn~s Research Center，Tongji University，Shanghai 200092，China) Abstract：Scheduling for semiconductor wafer fabrication is an important problem in actual production of manufacturing system，it is also one of the difficult problems of theory research．Genetic algorithm is a major object of computational intelligence study．So，the study on genetic algorithm—based semi— conductor wafer fabrication scheduling has been paid much attention in the past few years due to its re— search value and significance in numerous applications．The application of genetic algorithm in semi— conductor wafer fabrication scheduling is reviewed．This paper presents a comprehensive survey on the issues such as encoding，operation，parameter choice，improvement and real application．Some prob— lems worthy of further study and the probable developing trends in the field are also presented． Key words：semiconductor wafer fabrication；scheduling ；genetic algorithm 半导体制造是当今最复杂的制造过程之一，具 polynomia1)完全问题，同时还具有典型的多约束、多 有不确定性、可重入流、混合加工、设备负载不均衡 目标、不确定性等特征，这类