压电致动器-蛇行机构.DOCVIP

奈米定位與量測技術 期中書面報告 壓電致動器-蛇行機構 指導教授:朱志良 教授 系所:碩研機械一甲 學生:黃保珠 學號:M9910111 現今，壓電材料已廣泛的運用在我們的生活中。壓電材料種類甚多，大致可分為五類。一、單晶類：石英。二、薄膜類：氧化鋅。三、聚合物類：PVDF。四、陶瓷類：鋯鈦酸鉛。五、複合材料：PVDF.PZT。其中陶瓷壓電材料因具有可製成任何形狀，製成容易，可做高溫應用，可耐酸鹼同時其壓電活性良好，機電耦合因數高，組成方式可多樣化等優點，且其製造過程中所需要的高壓極化處理之極化場較低，因此已成為壓電材料的主流，大量運用於工業界，科技界，民生用品以及軍事領域等方面，如智慧型結構的感測器與致動器。壓電致動器由於其奈米級精度、剛性和快速響應的特性，在高精度定位控制頗受重視，如積體電路與微機電之製作、高精密度之加工等。 壓電材料簡介 壓電材料顧名思義即是一種具有機械能量與電能交換性質的材料。而壓電材料之壓電元素，如圖1所示，其在一般狀態下，壓電元素之極性排序混亂不齊。當集合眾多壓電元素於一起，且外加電性時，由於壓電特性會造成壓電元件之外型產生形變，而壓電元件之工作原理，也就利用此一特點，輸入變化之電壓波，可使得陶瓷元件形成微小之變形而形成驅動致動器。當我們對壓電材料施加應力或應變時，壓電材料內部會產生極化現象，在適當選定的兩面間之電場或電位移會因此而產生變化，此現象稱為正壓電效應如圖2所示。反之，則稱為逆壓電效應，茲分別詳述如下： 圖1. 壓電元素（a）一般狀況 （b）當外加電場時 (1) 正壓電效應：壓電效應為當某種結晶承受張力或是壓力時，如果產生形變，結晶則發生內部的正負電荷中心相對移動，而介質發生極化，導致結晶表面出現極性相反的束縛電荷，而電荷密度與外力成正比，此稱為正壓電效應。壓電致動器便是應用正壓電效應的原理來形成驅動效果。 (2) 逆壓電效應：與正壓電效應相反，若將晶體置於外電場中，因電 場作用而導致材料發生應變，則稱為逆壓電效應。而壓電感測器便是利用逆壓電效應做方位之感測。而正壓電效應與逆壓電效應統稱為壓電效應。 圖2. 壓電陶瓷之工作原理 (a)正壓電效應 (b)逆壓電效應 曲線機構之理論分析 壓電陶瓷曲線機構依照驅動方式的不同，共有兩種功能: (1) 高速位移輸送平台，單數片與雙數片用反相的AC電源驅動，則會在平台上產生行進波，可以帶動物件，當做進料機之用。 (2) 精密定位平台，全部壓電片用DC電源驅動，會讓平台之輸出端產生撓度，而輸出端之位移形變與輸入電壓呈線性，當控制電壓輸入改變時，則會改變輸出端的撓度，用來當做定位系統之微調使用。 如圖3所示，兩種平台的固定方式稍有不同。當壓電片受到作用力或電壓的驅動時，在x方向與y方向會產生彎曲的形變，在此可運用材料力學中的撓度分析，來推導曲線機構的數模。 圖4. 曲線機構實體圖 圖5.驅動方式示意圖 討論 在相同的驅動電壓下，當材料的楊氏係數越大時則結構的振動變形量就越小；在相同材料的條件下，當驅動電壓越大，則結構的振動變形量也就越大。 現階段最重要的課題，不外乎是設計精確性良好的控制器，對於meander-line 要能做到控制輸入準確的電壓，且能補償磁滯效應的誤差，可讓不論是高速位移平台或是精密定位平台，都有著良好的輸送及定位效果。 圖3.曲線機構示意圖