等厚干涉法测量薄膜厚度的两种方法.pdf

( ) 第 35 卷 1 期 　　 安 徽 师 范 大 学 学 报 自然科学版 Vol . 35 No . 1 2 0 1 2 年 1 月 Journal of Anhui Normal Univer sit y (Natural Science) J an . 2 0 1 2 等厚干涉法测量薄膜厚度的两种方法 左则文 (安徽师范大学 物理与电子信息学院 ,安徽 芜湖 　24 1000) 摘 　要 :等厚干涉法测量薄膜厚度设备简易 ,操作方便 ,分析直观 ,在生产中有着广泛的应用. 本文 探讨了两种等厚干涉法测量薄膜厚度的原理与方法 ,利用预先形成的薄膜台阶产生空气或透明材 料劈尖 ,单色光在劈尖上下两界面的反射光发生相干叠加产生干涉条纹 ,通过条纹相关参数的测 量 ,获得薄膜的厚度. 通过比较 ,空气劈尖法较之薄膜劈尖法操作更简易、准确 ,因而更实用. 关键词 :等厚干涉 ;薄膜 ;厚度测量 中图分类号 :O43 　　文献标识码 :A 　　文章编号 :100 1 - 2443 (20 12) 0 1 - 0032 - 03 　　薄膜材料具有不同于体材料的特殊性质 ,因而在集成电路工艺中有着广泛的应用. 各种薄膜材料 ,包括 半导体 、金属和绝缘体薄膜可以作为器件的功能层[ 1 ] ,或作为电极[2 ] ,或者作为钝化层保护器件免受环境的 影响等等. 薄膜的质量对器件的性能和成品率有着重要的影响 , 因此需要对薄膜质量进行必要的检查 ,厚度 测量是薄膜质量检查的重要内容之一[3 ] . 　　干涉法测量薄膜厚度是实验和生产中较普遍采用的测量方法 ,其优点是设备简单 ,操作方便 ,无需复杂 的计算. 除了常规的空气膜劈尖干涉法外[4 ] ,本文就等厚干涉法的另外两种形式测量薄膜厚度的原理分别 进行了探讨. 1 　空气劈尖 　　取一小片硅片部分地覆盖衬底, 放入反应腔内生长薄膜, 生长完成后取下硅片即形成台阶. 将薄玻璃片 ( 与带有薄膜台阶的样品沿平行于台阶方向对合, 一端轻轻压紧, 另一端用纸片分隔, 形成空气劈尖 如图1 所 ) 示 . 在读数显微镜下便可观察到干涉条纹. 衬底的一半沉积有厚度为 D 的不透明薄膜, 它改变了空气膜的 厚度, 即改变了光程差, 从而使直条纹发生弯折[ 5] . 为形成条纹的突然弯折, 薄膜台阶应尽量陡直. ( ) 　　第 k 级暗纹位置 ek 由 1 式确定, λ λ δ ( ) ( ) 　　　　　　 = 2 ek + = 2 k + 1 　k = 0 , 1 , 2 , 3 …暗纹 1 2 2 　　干涉条纹为平行于劈尖棱边的直线条纹, 每一条纹与空气劈尖的一定厚度 ek 对应. 任意两相邻的暗条 ( )