al和mgf2多层滤光膜光谱及其环境稳定性 al and mgf2 multi-layer filters and their environmental stability.pdfVIP

第20卷第2期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol-20，No．2 HIGHPOWERLASERAND 2008年2月 PARTICLEBEAMS Feb．，2008 文章编号：1001-4322(2008)02—0219—05 Al和MgF2多层滤光膜光谱及其环境稳定性‘ 郑秀萍， 吴永刚， 付联效， 王振华， 曹 鸿， 张 莉， 焦宏飞， 彭东功 (同济大学精密光学工程技术研究所，上海200092) 摘要： 采用真空热蒸发和电子束蒸发方法．制备了Al和MgF：多层滤光膜，并在100，150，200．300℃ 的真空环境中进行了热处理．考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响。结果表 明，经过真空热处理后．滤光膜表面粗糙度降低，峰值透射率升高．半宽度增大。随着在实验室干燥环境中放置 时间的增加，未热处理以及300℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动，峰值透射率降低，可见 光抑制特性减弱。而15