tea co2激光器预电离结构电极系统的电场研究 field uniformity of electrode system with preionization structure for tea co2 laser.pdfVIP

第21卷第9期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．21，No．9 2009年9月 HIGHPOWERLASERANDPARTICI。EBEAMS Sep．，2009 文章编号： 1001—4322(2009)09—1281—05 TEA C02激光器预电离结构 电极系统的电场研究’ 安 然1’2， 谭荣清2， 郭亚丁1’2， 郑义军2， 陈 静1’2 (1．中国科学院电子学研究所，北京100190-2．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要： 高功率气体激光器的非对称复杂电极系统中，电极参数的变化以及预电离结构的引入将会使所 设计的均匀电场发生具体的改变。采用高精度有限元方法，对这类复杂电极系统进行建模并且计算其电场分 布，根据分析结果更合理地指导激光器设计。对一种典型的非对称复杂电极系统TEACOz激光器，应用该方 法并结合了预电离过程，研究了引人预电离器导体和变化电极形状对电极表面的电场强度起伏和放电空