从gfp2011看硅光子学的进展 recent progress on silion photonics in gfp2011.pdfVIP

第42卷第9期 激光与红外 V01．42，No．9 2012年9月 LASER＆ INFRARED 文章编号：1001—5078(2012)09-0971-05 ·综述与评论· 从GFP201 1看硅光子学的进展 陈媛媛1，余金中2 (1．北京工商大学计算机与信息工程学院，北京100048；2．中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室，北京100083) 摘要：半导体硅材料不仅是一种电子材料，也是一种合适的光子材料。成熟的微电子加工工 艺更为硅光子学提供了坚实的技术基础。根据第八届Ⅳ族光子学国际会议的信息，文章综述 了硅基光波导技术特别是SOI光波导技术研究的最新进展，着重介绍了光调制器、亚波长光 栅、混合集成、封装以及波导加工等方面的新理念与新方法。 关键词：SOI；光波导；硅基；光子学；GFP2011 中图分类号：TN