多个布儒斯特窗大型光学元件的损伤在线检测 on-line damage detecting system of multiple large-scale optical components at brewsters angle.pdfVIP

第19卷第7期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．19，No．7 2007年7月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jul_，2007 文章编号： lOOi一4322(2007)07一1093—05 多个布儒斯特窗大型光学元件的损伤在线检测‘ 林冬冬， 曹益平， 李大海 (四川大学光电科学技术系，成都610064) 摘 要： 针对高功率固体激光装置主放大器中以布儒斯特角放置的大型光学元件，设计了一套损伤在线 检测系统。该系统利用望远系统倍率不变特性实现了多个光学元件在线等精度、等分辨率检测；采用景深理 论．通过仔细调节孔径光阑的大小，以达到既能测量同一倾斜光学元件上的不同损伤点，又能减小相邻光学元 件问损伤信息相互影响的目的。通过亮场成像纵向定位损伤位置，而利用暗场成像横向定位损伤的大小。实 验证明了该方法的可行性和有效性。该检测方法适用于各种多个倾斜放置的光学元件的损伤在线检测。 关键词： 固