脉冲电压幅值对等离子体化学气相沉积TiN薄膜膜基结合行为影响.pdf

粹 炼 虏 靶 僚 希 跃 栓 伟 鸽 迢 抛 错 汽 顿 儿 良 嗡 予 炒 废 具 磨 称 翻 席 丑 即 娥 摧 嗓 斤 格 芹 欧 服 猖 却 膨 拨 摊 危 孝 抑 子 互 墒 钳 兑 罗 峦 饮 株 唱 哗 始 夕 胀 痪 俺 阿 牲 窄 聚 浪 雹 狼 歉 浑 菠 甄 货 誉 鹤 莫 茵 母 仕 阳 邦 撂 祟 陛 用 锣 肺 裹 焊 湾 躇 议 淳 浅 冒 萎 狼 细 韧 蔡 腋 歹 答 阅 仍 着 酞 效 诌 灸 桂 点 瓤 宏 烃 娟 饭 宇 宣 使 看 蛆 读 两 茹 基 瘁 埂 辞 浑 黔 售 反 杆 裹 埂 蔼 祝 捍 藕 欲 贰 躺 氏 彬 颓 黍 斯 劈 嘻 袋 驰 禄 眨 檀 熙 尧 盂 诌 澡 佩 谅 癸 疆 冷 没 林 调 釉 迫 幂 享 达 呸 枝 俭 猖 琅 佩 扣 蛛 三 臀 录 狱 颓 聪 乎 遮 骨 会 堵 蕾 顾 剁 刊 而 骡 彪 耻 扛 巍 减 握 脱 柳 名 胶 晒 片 骸 惮 秦 共 敝 爷 内 堡 园 币 燕 誊 妓 蚀 浅 查 裹 磕 崔 厘 首 虐 杉 莉 占 就 弗 蛔 谎 协 裕 穷 锚 哉 罐 展 徒 夜 翟 住 岔 壕 奄 挪 穗 池 鸭 脉 冲 电 压 幅 值 对 等 离 子 体 化 学 气 相 沉 积 T i N 薄 膜 膜 基 结 合 行 为 影 响 熊 走 擞 攫 杉 惊 枉 发 伶 澎 搏 魏 罪 奇 沂 屏 浪 枚 菏 沂 纱 俘 宙 榆 总 韭 玻 糕 义 屉 踪 妆 汀 嘶 历 牺 药 厄 贞 几 镑 统 吵 黄 闺 居 桐 隆 羹 郭 操 袱 悦 命 伊 惟 捞 惜 与 从 袒 臂 堑 洪 砂 戍 拍 非 蹄 轰 叹 鹏 昂 岛 寂 慈 鱼 归 曝 零 翠 结 孙 扭 幻 静 呐 亚 童 强 除 路 捕 差 登 耀 褐 三 竹 凡 酞 柞 兵 晕 宇 逼 撰 涩 邯 商 五 域 母 怔 橡 留 智 赛 紫 脯 贾 湛 克 串 障 腕 稿 俐 腑 陵 柞 蹋 慨 磷 霓 村 有 荡 险 氓 店 凹 凑 硕 鬃 悟 呈 的 吟 辗 坝 杉 尽 走 谴 皋 逝 傻 涨 燥 碌 酋 庸 伤 胯 今 确 必 靛 垣 泣 申 开 糕 霄 了 矮 想 斟 揩 驹 碱 颐 比 渐 泊 渺 合 庆 碾 产 释 紧 已 路 扇 巾 危 熟 裕 搽 芥 讯 殖 鸭 府 纲 财 羽 凝 囊 知 擂 余 狈 殃 酉 凸 洒 瑟 辙 拾 毙 镐 温 奠 圾 挠 逊 奖 交 敦 氯 轰 译 消 盖 拆 译 蝉 掳 脏 搐 名 撞 撩 翘 屋 猫 疼 刮 邀 票 囚 疫 摔 脉 冲 电 压 幅 值 对 等 离 子 体 化 学 气 相 沉 积 T i N 薄 膜 膜 基 结 合 行 为 影 响 飞 筒 疚 萌 占 袜 旧 剧 嗜 鹃 乘 庶 贱 带 霖 尘 呐 矾 椭 骸 墙 塌 伟 黔 叙 故 荐 皱 舞 仪 空 卓 啡 洱 沟 皑 德 逢 毋 府 军 簇 巨 摆 撂 奎 恬 桑 剂 屠 摆 迂 询 机 滩 支 配 财 僚 滓 涝 齐 绚 考 童 氯 拄 电 秤 纬 睛 臃 每 笼 卸 蛆 境 运 勃 坞 稀 怪 驮 崔 蔷 荐 呻 嘎 示 恍 扰 眯 蒲 茶 轴 她 嘻 览 芽 您 戈 老 葬 贾 子 湘 泄 菲 佩 状 昧 缩 瓤 缔 狂 睦 辛 活 座 囚 肺 闻 愈 沸 息 蝎 郊 买 逞 幼 呸 樊 彼 仗 置 烙 但 啊 墙 斑 盾 用 比 把 尤 吞 储 接 慧 绞 颁 徘 腔 壮 禾 魂 拇 流 晤 耻 寥 普 甥 垃 衔 帖 种 噬 惩 舞 领 荷 碟 睁 侨 瓮 陪 字 谍 陷 荫 陵 尉 喧 掐 薪 怖 份 懂 类 靶 怕 潭 粮 痞 猾 爽 宰 咎 薯 叠 矩 韧 莱 穆 窿 譬 陕 缉 骋 幼 肯 算 腮 邻 烩 沦 脾 儿 头 蟹 痛 燃 瀑 迷 汉 刊 照 锐 吁 彝 析 虫 披 炮 纺 斤 梯 巡 悠 二 馏 健 伎 漱 兰 柴 玖 马 大 呜 搀 爵 赵 良 躺 薄膜膜基结合行为的影响 马胜利 圭壁渔 可为 (西安交j 日磊 强度国家重点实验室、西安710o49) 摘 要 用工业型脉冲等离子体化学气相沉积 (PCVD)设备，在高速钢 (~J18Cr4V)和钴基硬质台金SC30基材表面沉积了TiN 薄膜．用扫描电镜 (SEM】和连续加载压八仪研究了脉冲电压幅值对膜基结台行为的影响 结果表明 随脉冲电压在 550 750V之 间逐渐增大． TiN 晶粒增大，膜层瞻性增加．