SJT31273 1994EVP 13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法.pdfVIP

设备完好要求和检查评定方法 (下 册) 标准分享网 免费下载 专用设备 (续) 中华 人 民 共 和 国 电子 行业 标 准 SJ/T31273-94 EVP--13480型磁控溅射机完好要求 和检查评定方法 主肠内容与适用范囤 本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。 2 术语 磁控溅射— 是在靶上外加互相垂直的磁场和电场，在一定的真空情况下，发生浓密度的 等离子体，利用等离子体的作用形成膜层。 3 完好要求 3.1性能要求 3.1.1 极限压力:低于1X10-Pa. 3.1.2 设备运转:20min后，极限压力能满足溅射要求。 3.2 操作系统 各操作手柄、开关、按钮等齐全、无缺损、灵敏、可靠，标志齐全。 3.3传动现象 。 3.3.1 传动机构运行平稳，可靠、电机变速机构等工作正常，无异常噪音。 3.3.2 制动、限位装置齐全，完整、灵敏、可靠。 3.4 润滑系统 3.4.1 润滑装置齐全，完整无损，作用良好。 3.4.2 管路齐全，油路畅通，油窗明亮，油标醒目;油质、油量符合规定要求。 3.4.3 油嘴、油杯、油眼清洁，无堵塞现象。润滑良好;基本无漏油，即每一漏油点滴油数， 3min内不得超过一滴。 3.5 真空系统 3.5.1 真空泵运转平稳，无异常振动，无冲击 ，极限压力不低于1X10-Pa, 3.5.2 低温泵工作正常。 3.5.3 蒸发室观察窗清洁、密封良好。 3.5.4 真空管路连接紧固可靠、畅通、密封良好。 3.5.5 真空阀门开闭灵活可靠。 3.6 电气系统 中华人民共和国电子工业部 1994-04-15批准 1994-06-01实施 一 810 一 标准分享网 免费下载 SJ/T 31273-94 3.6.1各元、器件齐全、完整、性能良好，可靠，无老化现象。 3.6-12管线完整，无损，联接牢固。线路绝缘层无破裂，无老化，漏电现象。 3.6.3 电气控制柜内部清洁，线路布置整齐，标志齐全、明显，各端子紧固无松动现象，元、器 件动作灵敏、安全、可靠。 3.6.4 仪表齐全、完整，灵敏、指示准确，可靠，有有效期校验合格证。 3.7附属装置 冷却水供应正常，管道畅通。 3.8 安全防护 3.8， 各安全防护装置齐全、完整，工作正常，可靠。 3.8.2 接地(零)可靠、标志明显。 3.9 维护保养 按SJ/T 31002-94《设备维护保养通则》执行。 4 检变、评定方法 4.1检查方法 4.1.1 设备极限压力用真空表检测。 4.1.2 设备接地漏电用兆欧表检测。 4.1.3 完好要求3.2-3.9各条所列内容均采用主观法检查. 4.2 评定方法 4.2.13. 1-3.9所列各条要求中，主要项目为:3.1.1,3.1.2,3.5.1,3.5.2,3.5.3,3.6. 1-- 3.6.4,3.8.1,3.8.2。其余为次要项目。 4-2-2 主要项目有一项不符合要求，为不完好设备;次要项目有二项不符合要求，亦为不完好 设备。 4.2.3 完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由上海市仪表电讯工业局组织起草。 本标准主要起草人:周尧良。 811