BOROFLOAT33和玻璃晶圆灵感与品质的结合.PDFVIP

® BOROFLOAT 33 和玻璃晶圓 : 靈感與品質的結合 優異特性成就不凡 ， ， 20多年前 SCHOTT 建立了全球首條微浮法玻璃生產線 該條生產線的玻璃很快就成為全球有史以來最具影響力的玻璃產 。 ® 。 ， ， ® 品之一 BOROFLOAT 是全球首款硼矽浮法玻璃 以德國高品質工程技術為核心 加上專業團隊的開發動力 BOROFLOAT 、 。 迅速成為先進技術 創新工藝和專業性完美結合的傑出典範 ， 對於玻璃晶圓用於陽極鍵合或在晶圓減薄的製程中當成載體的性能要求 主要取決於它們能完全與矽晶圓作永久或暫時的 ® 。 ， 。 黏合 和矽晶圓相當的熱膨脹係數 優異的平整度與製程的穩定性同等重要 BOROFLOAT 玻璃晶圓提供如此卓越的材料 特性以及超高的紫外線穿透性 - 可用於高速雷射脫黏製程中的特殊需求。 ® BOROFLOAT - 優異特性成就獨特的玻璃晶圓 • 卓越耐熱性能 • 特高透光度 • 高化學耐久性 • 優異的機械強度 ® BOROFLOAT 是當今用於半導體產業中最領先且完備的玻璃晶圓材料之一 以 BOROFLOAT® 玻璃作成的玻璃晶圓提供卓越的耐熱性能 ® BOROFLOAT ， 。 玻璃完全與矽的熱膨脹係數一致 這是成功黏合所需的必要條件 ® 。 ， 在製程中晶圓時常曝露於溫度變動的環境下 低線性熱膨脹係數使得 BOROFLOAT 玻璃晶圓能輕易的應對升高的溫度 更重要的 ， ， 。 是 在突然的溫度變化下 不會發生破裂或翹曲 熱膨脹 熱學特性 -6 -1