亚翔工程技术双月刊第025期(2010年12月).PDFVIP

亞翔工程技術雙月刊第 025 期(2010 年12月) cfdesign係一泛用型熱流分析軟體，在計算移動的物件上特別方便而好用。 本期主題擬介紹利用cfdesign 於Stocker內 Crane的移動所造成的 Piston 效應， 藉此觀察 Piston 效應的影響性。 前言： Stocker係一近似密閉的空間，而 Crane又是在其內部快速移動的物件， 因此因 Crane移動所造成的 Piston 效應，遂成為一個有趣的課題。 然而在實體物的量測上，有其困難性，因此，本期電子報擬採用cfdesign 的 CFD軟體，協助分析其影響性。 模型設定 ： 我們為減少計算量及有效利用網格數，以對稱的概念，以如下圖的範圍， 建構我們的計算範疇。 相關基本假設，如下： 1. Slab的厚度及孔洞分佈不予考慮。 2. Crane 底部 slab的開孔率只對 Stocker內壓力的建立有關，同時其開孔率 也必須搭配現場狀況做調整，因此，我們將不針對 Crane 底部的開孔率做 特別設計與計算。 我們將依過去經驗，設定阻力係數 f = 8 。 3. Crane的爬梯與斜支撐皆不予考慮。 P1 亞翔工程技術雙月刊第 025 期(2010 年12月) 4. 棚位的料架亦不予考慮。 5. EQ port的 Exchanger及 OHCV port內的承載，其內部複雜的機構設計亦 不予考慮。 6. 由於 EQ port 為Exchanger ，因此，Stocker側為全開式設定而 Cleanroom 側為高 200mm的開口設定 。 7. OHCV 上方供風速度同於Stocker的 75% 。 因此，以平均風速概念，其供風速度為 0.3m/s (0.4m/s x 0.75 = 0.3m/s) 。 8. OHCV下方為可通氣設定，直接流入無塵室內，假設其為一阻力係數 f = 8的平面。 9. 卡匣設定： (1) 以一立方體阻力假設之。 (2) 立方體卡匣阻力，依過去CFD應用經驗，水平 xy 方向設為 0 ，而垂 直方向設為 ∞。 (3) 由於在 cfdesign中，阻力元件無法移動，因此，在 Crane 上的Carriage 將不載運卡匣。 (4) EQ port及 OHCV port 均未放置卡匣。 10. FFU 出風速度為0.4m/s 。考慮FFU的佈置設計。其概念為 Crane 走道25% ， 其餘佈置於棚位上方，使其達75%的要求。 最終模型概觀，如下圖 另外，由於我們必須讓 Crane移動，因此，我們另外設定 Crane移動狀況， P2 亞翔工程技術雙月刊第 025 期(2010 年12月) 如下圖 。 計算結果 ： 依上述設定及模型，在不同截面上，其壓力的變化圖，如下圖所示。 P3 亞翔工程技術雙月刊第 025 期(2010 年12月) 結論： 就 Piston 效應觀察，兩個Section由於有下方的通氣及 OHCV提供一洩壓 源，去程時較無 Piston 效應，而回程時Crane回到起始點後有較明顯之 Piston 效應。 但不論是 Crane 接近或離開OHCV時， Piston 效應都不明顯。