真空退火磁及磁光特性分析-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , ’ 真 空退 火 多层膜 的结构 、 磁 及磁光特性分析 李 明 蒋 志红 沈德 芳 中 国科 学院土 海 冶 金 研 究所 上 海 摘 要 本 文用 流磁 了 层 , 进 了较 为细 的 空 火处理 , 直 控溅射方法制备 多 膜 并对其 行 致 真 退 结 果表 明, 适度 的低 温退 火 可增 加 多层膜 的矫顽力 , 而 并不 削弱 其磁滞克 尔 回线 的矩 形特征 当退火 温度达 到 以后 , 七 多层 膜 的矫顽 力 、 垂直各 向异性和 克 尔角将 强 ‘ 、 、 烈下 降, 晶体结构 的改善及应 力 的释放 晶粒 的增 长 层 间原子 扩散 引起 的 层 有效厚度减 、 、 薄 , 进而 居里温度 的下 降, 分别是 多层膜在低温 中温 高温退火过程 中, 磁 及磁 光性 能变化 的主要机制 类 词 磁光薄膜 , 多层膜 , 退火 , 矫顽 力 分关 键 号 引言 , ,