电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究 study of electrochemical ethanol gas sensor and its sensitive characteristics.pdfVIP

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2017-08-25 发布于上海
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电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究 study of electrochemical ethanol gas sensor and its sensitive characteristics.pdf

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电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究 study of electrochemical ethanol gas sensor and its sensitive characteristics

MEMS器件与技术 MEMS Device＆TechnoIOgy 电化学乙醇气体敏感元件及其敏感特性研究和2 曾庆丰1，邓永 (1．贵州大学理学院，贵阳550003；2．湖南工程学院数理系，湖南湘潭 411104) Al：O，)，恒温600℃烧结1h制成旁热式厚膜乙醇气体敏感元件。采用静态电压测量法，研究了元件的加热电压与元件灵敏度口的关系以及添加剂对元件的响应与恢复时间的影响。实验结果表明：乙醇的气体体积分数为10～，wO。元件掺入质量分数为0．5％的PdCl：，在加热功率为 600 mw下元件的响应与恢复时间分别为9．0s和11．0s，与纯W0，元件相比元件的灵敏度提高了约8倍。关键词：乙醇气体敏感元件；灵敏度；添加剂；电化学；响应与恢复时间中图分类号：TP212．2文献标识码：A 文章编号：167卜4776(2008)07—0416—03 ofElectrochemicalEthanolGasSensor Study andItsSensitiveCharacteristics ZengQingfen91，DengYonghe2 (1． 550003，吼i行口； C0池驴o，SciP”cP，渤i名^o“孤iwr5叻，渤iy彻g M口the7腿tic5nnd I孔s￡i￡暑‘￡8 411104，chinn) 2．Dep口rtme稚tof Physics，H砧nnnofE强gineering，xi8竹g￡nn The heatedthickfilmethanolsensorwas additiVes Abstract：indirectly gas preparedbydispersing and ratiointo and a certainmass (Pt，Pd，Pt02，PdCl2，Sn02，Si02A1203)at W03powder at onthestatic measure the between 600℃for1 h． Based method， heating voltage relationship the andthe of theinfluenceofdifferentadditiVeson sensor， response heatingvoltage sensitivity and time and timewereresearched．Theresultsshowthatthe of recovery responserecoveryW03 sensorwith0．5％Hmssfractionare9．0sand11．0s、耐thethanolvolumefractionof10～，