超精密测试技术基础.PDF

超精密测试技术基础 居冰峰/刘伟庭 主要内容 1. 精密测试技术的发展历程 2. 精密测量中的重要概念 3. 精密测试技术的基本方法与仪器 一 · 发展历程 “从开始有测量的时候起，才开始有科学。”门捷列夫 史前人类的计时方法 美国国家标准技术研究所的原 子钟（精度: 1秒/2000万年） 一 · 发展历程 • 长度（位移）测量的发展 早期测量方法： 一 · 发展历程 • 长度（位移）测量的发展 钢尺（精度：1mm） 金属棒 游标卡尺（精度：0.01mm ） 量块（精度：0.1-0.5µm ） 1631, by Pierre Vernier 1901, by Carl E. Johansson 一 · 发展历程 • 长度（位移）测量的新技术（20世纪30年代以后） 电容、电感传感器（纳米） 光学测量系统（纳米） 激光干涉仪（亚纳米） 光栅（细分后可达到皮米精度） 一 · 发展历程 • 角度测量的发展 多齿分度盘（0.2’’ ） 激光干涉（0.002’’ ） 角度尺 1920- 1980- 一 · 发展历程 • 角度测量的发展 自准直原理（0.01’’ ） 1980- 圆形编码器 （细分后0.004’’ ） 一 · 发展历程 • 表面轮廓测量的发展 世界上第一台触针式轮廓仪 Taylor Hobson第一台轮廓仪（1941） 1929, by Schmaltz （德国） 一 · 发展历程 • 表面轮廓测量的发展 花粉粒的SEM照片 世界上第一台扫描电子显微镜 1937, by M. V. Ardenne （英国） 一 · 发展历程 • 表面轮廓测量的发展 世界上第一台扫描隧道显微镜（1埃） 1982, by G. Binnig (IBM) 高定向热解石墨（HOGP）的表面 B. F. Ju et al, 2009 一 · 发展历程 • 表面轮廓测量的发展 世界上第一台原子力显微镜（1埃） 烟草花叶病病毒表面 1986, by G. Binnig (IBM) David Lindley, 201