第4章 位移及速度测量传感器.ppt

Roland Berger Strategy Consultants 实用传感器技术教程 第4章 位移与速度测量传感器 无论是科学研究还是生产实践中，需要进行位移测量的场合非常多。此外，还有许多被测物理量可以转化为位移进行测量，如压力、位置等都可以通过某种转换部件，先将它们转换为直线位移，然后通过测量位移间接得到被测量。在不同的场合、不同的应用领域，对位移测量传感器的要求差异也很大，比如测量范围、测量精度、动态响应等。因此，位移测量传感器的种类也是相当多，并且各自的特性也不相同。 4.1 电感式位移传感器 4.1.1电感位移传感器原理与分类 气隙型传感器的结构原理图 4.1.1电感位移传感器原理与分类 差动变隙式电感传感器的原理结构 初态时：若结构对称，且动铁居中，则δ1=δ2，U0=0。 动铁上移时：则δ1↓→L1↑→I1↓=I1-ΔI δ2↑→L2↓→I2↑=I2+ΔI I=I2↑-I1↓=2ΔI U0=2ΔIZL 同理，动铁下移时：U0=-2ΔIZL 4.1.2 电感位移传感器输出特性 由图可以看出L=f(δ)不是线性的，即变气隙式传感器δ和L之间不满足线形变化关系。理论上，当δ=0时，L为∞，如果考虑到导磁体的磁阻，即当δ=0时，L不等于∞，而有一定的数值。变截面积式传感器的面积S与L值则是线性关系，即L=f(S)的特性曲线为一条直线。 4.1.2 电感位移传感器输出特性 变气隙式、变面积式和螺线管式三种类型电感传感器相比较，变气隙式灵敏度最高，因而它对电路的放大倍数要求很低，缺点是非线性严重。为了限制非线性误差，示值范围只能很小，导致自由行程小，因此制造装配比较困难。变面积式的优点是具有较好的线性，自由行程较大。螺线管式主要优点是结构简单、制造装配容易、自由行程大，但是灵敏度最低。但灵敏度低可以通过放大电路加以解决，因此，目前螺管型电感传感器用得越来越多。 4.1.3电感位移传感器测量电路 1. 变压器电桥 输出特性公式为 在初始位置时 Z1=Z2=Z ，电桥处于平衡状态，U0=0 动铁芯上移时：δ1↓→L1↑→Z1↑=Z+ΔZ δ2↑→L2↓→Z2↓=Z-ΔZ 代入式（4-2），得 4.1.3电感位移传感器测量电路 2.相敏检波电路 相敏检波电路是常用的判别电路。下面以带二极管式环形相敏检波的交流电桥为例介绍该电路的作用。 4.1.3电感位移传感器测量电路 如图3.11(a)所示，Z1、Z2为传感器两线圈的阻抗，Z3＝Z4构成另两个桥臂，U为供桥电压，U为输出。当衔铁处于中间位置时，Z1＝Z2＝Z，电桥平衡，U＝0。若衔铁上移，Z1增大，Z2减小。如供桥电压为正半周，即A点电位高于B点，二极管D1、D4导通，D2、D3截止。在A—E—C—B支路中，C点电位由于Z1增大而降低；在A—F—D—B支路中，D点电位由于Z2减小而增高。因此D点电位高于C点，输出信号为正 4.1.3电感位移传感器测量电路 如供桥电压为负半周，B点电位高于A 点，二极管D2、D3导通，D1、D4截止。在B—C—F—A支路中，C点电位由于Z2减小而比平衡时降低；在B—D—E—A支路中，D点电位则因Z1增大而比平衡时增高。因此D点电位仍高于C点，输出信号仍为正。同理可以证明，衔铁下移时输出信号总为负。于是，输出信号的正负代表了衔铁位移的方向。 实际采用的电路如图3.11(b)所示。L1、L2为传感器的两个线圈，C1、C2为另两个桥臂。电桥供桥电压由变压器B的次级提供。R1、R2、R3、R4为四个线绕电阻，用于减小温度误差。C3为滤波电容，Rw1为调零电位器，Rw2为调倍率电位器，输出信号由电压表V指示。 4.2 电涡流式传感器 3. 技术参数 4.2 电涡流式传感器 2. 电桥测量电路 电桥将反映线圈阻抗的变化，线圈阻抗的变化反映被测金属导体的接近程度。当静态时，电桥平衡，输出电压u0=0。当传感器接近被测金属导体时，传感器线圈的阻抗发生变化，电桥失去平衡，即u0≠0，该信号经经过线性放大和检波器检波后输出直流电压，其幅值经过标定即可以实现对位移量的测量。 电涡流式传感器的特点： 非接触测量，不易受油液介质影响； 结构简单，使用方便，灵敏度高，最高分辨率达0.05微米； 频率响应范围宽（0~10kHz），适合动态测量。 4.2.3电涡流传感器应用 1. 位移测量 4.2.3电涡流传感器应用 2. 振动测量 4.2.3电涡流传感器应用 5. 液位测量与控制 4.3.2 电容式位移传感器特点 1.优点： Ⅰ.温度稳定性好 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 而电阻传感器有铜损等，易发热产生零漂。 Ⅱ.结构简单