值得重视的田口式参数设计法 taguchi parameter design.pdfVIP

质量 Quality be inthelinewidthcontrolof rocess ● ofcontrollablerscan photoIithographyp ． paramete optimized ● 一 SOastominimizetheinfIuenceofuncontroIIablefactors． ● toNoise ● ratio；Photo¨thography：Wafer；Transistor Keywords：Taguchiparameter；linewidth；Signal Article CLCnumber=TN407Documentcode：AID：1003-0107(2006)02—0025—03 ： ： 日本著名质量管理专家田口玄 均值“达到目标直nl，且使功能波 一博士首创的三次设计法，是把该 动o-2最小。 方法运用到产品中去的一种创新性 如图1所示，通常产品输出质 的方法，值得重视和学习推广。而 量特性y与可控因素水平X(如元部 参数设计是三次设计的核心，是实 件设计参数中心值，工艺条件中心 现低成本，高功能的最有效的方 值等)之间存在着非线性关系，设 氇 ，滁一时 ≯㈡㈠rq㈡一㈡r斟■叫 法。 当某元件参数x采用名义值(中心 图1参数设计的非线性效应 值)为x、的三级品(其波动范围为△为稳定因素。而与y具有线性关系的 参数设计的基本方法是： X)时，输出特性y的中心值刚好等因素z为调整因素。 (1)采用正交试验设计，给出于nl，出于△x造成的y的波动范围 对动态特性而言。参数设计的 不同的备选方案(试验条件)。正交为△y，。通过参数设计。现采用名 基本思想是指：不同的技术方案， 7)。 表尽可能采用￡、。(21×3 义值(中心值)为x。的三级品(波动即不同的可控因素水平(参数)组 (2)各种设计条件的功能性好 合，其基本功能，即输入信号M与输 范围仍为△x)，由图1可以看出，输 坏以其在各种误差因素综合影响下 出特性y的中心值虽然由m变化到出功率y不仅具有不同的线性关系 质量特性输出值的S／N比(信噪比)m+但此时由于△X引起的y的波动y=p’M(p’不同)，而且抗干扰能 来描述。S／N比最大的设计方案，将却大大减少为△y。，即抗干扰能力 力(o2)或线性化程度亦不同，参数 是最佳设计条件。