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第6期 魏恩浩等:聚焦离子束在光纤探针制备技术中的应用 599 MuramatsuH,HommaK,ChihaN,et (24):3115—3117. [9] a1.Dynamicetching fabricationa of inthe Pilevar a1.Focus冀lion-beam methodfor [16] K,AriaW,et variety6pshapes optical S,E‘linger fibre of fabricationoffiber withwell-definedforuge probe8∞anIIiI唱near-fieldopticalmicm龇田pe[J].J probes apertures innear-field MicnⅪe,1999,t94(2):383—387. scanning microscopy[J].ApplPhys op6cal [10]杨修文,祝生祥,胡毅.变温腐蚀法制备纳米光纤探 Leu,1998,72(24):3134—3135. thereflection 针[J].微纳电子技术,2008,(04):1—4. [17] G,BainierC,既a1.Shaping Sp面盯M,Parent near-field domaintimedifference 于华杰,崔益民,王荣明.聚焦离子束系统原理、应用 opticalprobe:finite 及进展[J].电子显微学报,2008,(3):243—249. andfabricationafocusedionbeam[J]. modelling using [12】江素华。谢进,王家楫.新一代微分析及微加工手段 JournalofMicroscopy,2002,202(1):45—49. Yatsui Lett,1997,71: ——聚焦离子束系统[J].电子工业设备,2000,29[18] T,硌删M,OhtsuM.ApplPhys (4):19—25. 1756. Yatsui M,Ohtsu Letters, [13]姚骏恩.纳米测量仪器和纳米加工技术[J].中国工程 [19] T。l【oumgi M.AppliedPhysics 科学,2003,5(1):34—37. 1998,73:2090.

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