空压机设备改善典范案例.docVIP

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空压机设备改善典范案例.doc

節能診斷輔導典範案例 電子/電機業別-(六廠) 簡介: 該廠主要業務範圍8”矽晶圓主要耗能設備冰水主機、空壓機、鍋爐等。主要建築物總樓地板面積,882m2,平均電價2元/kWh,全年節省費用萬元。 1.需量管制策略 無需量管制策略 平均電力負載率為9.64% 2010年度最大需量,最低為一月與最高為十月之需量差距16%>10%,值得檢討做需量管控。 空調佔用電比率26%,其中有部份用在環境空間。 從用電比例分析,公用設備用電比率佔一半,需檢討廠內所有設備需量並作管控,可藉由導入控制器,並建立需量管制策略約。kWh)約%的潛力。 2.空壓系統 0.13kwh/m3(不含保養維修費用)過高。 目前以CDA當BackUp使用。 CDA系統出口溫度恐大於38℃,當溫度在38℃以上時,吸附劑吸附特性大為下降。 CDA在黃光Scanner之壓力需要8 Kg/cm2,其餘在6Kg/cm2以下。 CDA單位耗能為0.13kwh/m3過高(不含保養維修費用),CDA之單位耗能以0.1 kw/m3為目標。 因已有N2來提供CDA當BackUp使用,故建議關閉Booster開通TankValve做為DryAir之BufferTank。 建議加裝多組流量計來Check CDA、ICDA之用量,做為是否以CDA給ICDA使用之依據,因兩者間有壓力降以及再一次的外熱吸乾機之耗電,所以基本判斷以CDA供應ICDA使用並不經濟,正確判斷應依實際流量來確認。 CDA系統出口溫度降低,建議可加一、二次冷卻盤管來控制、或以外氣過濾箱來降低入口溫度、或增設一只濕空氣桶來降溫。 CDA因只有黃光Scanner之壓力需要8Kg/cm2,其餘都在6Kg/cm2以下,建議將整個系統壓力調降至6.5Kg/cm2,黃光區以Booster增壓即可,可大為降低CDA耗能(須注意空壓機運轉點)。 3.空調系統 MAU外氣空調箱約有70RT×12台(設使用率50%),其再加熱(ReHeat)由熱回收冰機提供。 空調冰水主機主要供應CleanRoom使用為1,250RT共9台(設使用率50%),冰水出水溫度設定為5℃。 MAU外氣空調箱再加熱(ReHeat)屬非必要性耗能,建議停止,可降低熱回收冰機及冰水盤管熱負載。 供應CleanRoom之空調用冰水,可檢討使用端需求溫度之必要性,提高空調冰水主機出水溫自5℃調升至7℃,可提高壓縮機COP(約提高5%)。 輔導年份 年 投資成本註1 需量管制策略:約00萬元 空壓系統:約00萬元 輔導效益 需量管制策略 :W 契約容量基本電費單價:2,230元/ 節省費用×2,230元/=萬元/年Wh/年 電力單價:2.2元/ 節省費用:173,000kWh/年×2.2元/kWh=38.1萬元/年 空壓系統 節省電力: 電力2.2元/ 節省費用3,150,000 kWh/年×2元/=萬元/年 a.MAU 節省電力: =967,680 kWh/年 電力價格2.2元/ 節省費用/年×2元/=萬元/年節省電力: =648,000 kWh/年 電力價格2.2元/ 節省費用/年×2元/=萬元/年 回收年限 (00+800+200)萬元÷(+38.1+693+213+142.6)萬元/年=月 降低排放 CO2(173,000+3,150,000+967,680+648,000)kWh/年×0.6公斤/=3公噸/年 南部科學工業園區節能技術服務團隊 冰水主機室 冰水主機 Picture Picture 辦公區域 空調箱機房 1 輔導對象 問題診斷 節能潛力輔導案例 輔導成效 諮詢窗口 電子/電機業(節能輔導 輔導措施 輔導項次

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