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TiN薄膜在建筑玻璃节能上的应用分析 王有欣 杨振 李扬 王英才 (辽宁科技大学) 摘 要　TiN薄膜是目前工业研究和应用最为广泛的薄膜材料之一，其在可见光区具有较高的光透过率和在远红外区具有较高反射能力，符合现代建筑门窗玻璃的节能要求。本文采用直流反应磁控溅射法在玻璃片上制备了TiN薄膜，研究了制备工艺条件与薄膜性能之间的关系。用紫外可见分光光度计测试了TiN薄膜的透光率，当TiN薄膜较薄时，在可见光区有较高的透光率，同时在近红外的透光率很低。同时又对它的耐腐蚀进行了分析。 关键词：TiN薄膜；节能；透光率； The analysis and appliance of TiN thin films in the energy saving of architecture glass Wang Youxin　Yang Zhen Li Yang Wang Yingcai (Univerciy of Science and Technology LiaoNing) TiN thin films are one of the most extensive thin films materials in the application and research of modern industry at present. it has very good transmittances in visible zone and low transmittances in infrared region,it meet the requirements of energy saving of architecture. TiN thin films are plated by D.C reactive magnetron sputtering on glass substrate. The relations between the technical conditions of manufacture and the properties of the thin films are studied, the optical capabilities of TiN thin films are also analyzed by using visible spectrophotometer and ultraviolet radiation. when TiN thin films are very thin, it has very good Transmittances in visible zone，At the same time the roughness is analyzed. Keywords: TiN thin films;energy saving; transmittance; 1前言 随着社会的不断发展，全球能源日益枯竭，能源问题已经成为当今世界几大主题之一。在没有获得有效的新的替代能源突破之前，节能便提上世界上各国的议事日程。其中占总能耗比例约为五分之一的建筑能耗更是引起科学家的广泛关注[1]。而建筑能耗的50％TiN薄膜真空镀膜设备磁场改变电子运动方向，束缚和延长电子的运动轨迹，从而提高了电子对气体的电离几率有效的利用电子的能量。0.1～1eV95%的镀膜理论密度而言，溅镀镀膜的性能、牢固度等都比热蒸发和电子束蒸发薄膜要好得多，有效地解决了附着力的问题[2]。分别以Ar气和N2作为溅射气体和反应气体，靶材为金属Ti靶，基片为经过严格清洗的载玻片，并要经无水乙醇脱水处理后烘干[3]。工作时，真空室的本底真空度要抽到5.0×10－4以下，然后通入高纯度的N2进行反应溅射制备TiN薄膜。 3 TiN薄膜的光学性能分析 利用磁控溅射法溅射Ti靶来沉积TiN薄膜时，通过改变沉积时间和不同N2流量两种条件来调整TiN薄膜厚度和颜色，从而研究TiN薄膜的光学性能。 1) 不同沉积时间条件下TiN薄膜的透光率分析 对5个溅射功率4K、温度400℃、、、、、、 波长/μm 图1 不同沉积时间下TiN薄膜的透光率 a 0.5 分钟、b 1分钟、c 1.5分钟、d 2分钟、e 3分钟 Fig1 the transmittance of TiN film with different plating time 由图1可见，TiN薄膜在可见光波长范围内有较高的透光率，而在近红外和紫外波长部分的透光率较低。不同沉积时间下制备的TiN薄膜的可见光透光率都在60%以上，在2分钟以内的透光率甚至可达80%。随着时间的增加，TiN薄膜的厚度逐渐增加，薄膜的透光率逐渐变差，从图1中可以看出，当沉积时间超过3分钟时，TiN薄膜的透光率