Langmuir探针在等离子体试验中的应用问题.PPT

Langmuir探针在等离子体实验中的应用问题 ——浅谈探针表面氧化层对实验的影响 报告者： 万润来 合作者： 吕金钟 指导老师： 乐永康 报告内容： 1、 背景介绍 2、 实验装置和原理 3、 实验结果及讨论 4、 结论 5、 参考文献 背景介绍 等离子体 （Plasma） 背景介绍 利用等离子发光 霓虹灯管 大面积等离子体平板显示 背景介绍 利用等离子体的高温 等离子体电弧焊接 核聚变装置中的等离子体 背景介绍 利用等离子体的化学活性 太阳能电池的非晶硅薄膜 超大规模集成电路 背景介绍 Langmuir探针 结构简单 操作容易 测量数据可靠 单探针 双探针 实验装置和原理 DH2005型直流辉光等离子实验装置 实验装置和原理 理想I-V曲线 实际I-V曲线 不对称现象 导致不对称的原因 曲线与V轴交点不在原点 曲线与V轴交点不对称 两探针的表面积不同 两探针所在等离子体空间位置电位不同 两探针所在等离子体空间位置电位不同 实验结果及讨论 探针清洗前不同条件下的I-V特性曲线 曲线通过零点 两探针所处空间电位相等 相对V轴交点不对称 两探针表面积不相等 2 1 实验结果及讨论 施加负高压时间越长，电流越大 负高压能有效去除探针表面氧化层 下降速率由快变慢 一开始氧化速率较快，随后逐渐变慢 2 1 探针清洗不同时间下电流I与时间t的关系 实验结果及讨论 曲线通过零点 两探针所处空间电位相等 相对V轴交点不对称 说明经过负高压清洗后，探针表面覆盖的氧化层得到有效清除，两探针表面积大小基本一致 2 1 探针清洗前不同条件下的I-V特性曲线 实验结果及讨论 探针清洗前后不同条件下的I-V特性曲线 清洗前 清洗后 通过探针电流小 气体压强对探针电流影响显著 放电功率对探针电流影响不显著 通过探针电流大 气体压强对探针电流影响显著 放电功率对探针电流影响显著 结 论 一、 探针表面覆盖的氧化层导致探针I-V特性曲线相对于V轴交点不对称，而对探针进行负高压清洗可以有效去除探针表面的氧化层，提高I-V曲线对称性 二、 除去探针表面覆盖的氧化层后，可以提高通过两探针的电流，从而提高实验的精度 参考文献 [1] 符斯列：《Langmuir探针测量低温等离子体参数特性实验》，实验室研究与探索，第29卷第3期，2010年。 [2] 张洪志等：《气体放电等离子体特性测量I-V曲线不对称性的研究》，物理实验，第26卷第3期，2006年。 [3] 周怀北等：《气体放电等离子体中朗缪尔探针应用中的问题》，空间科学学报，,第9卷第3期，1989年。 谢谢！