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平行平板型光学元件面形的测量 目 录 研究目的 测量原理 实验 总结 一.研究目的 平行平板型光学元件（例如平行平板玻璃、晶体薄片）广泛地应用在光通信和光测量领域； 面形偏差、光学均匀性等参数直接影响到系统的精度； 测量平行平板光学元件的面形是保证系统精度的前提。 激光干涉仪测量面形中的问题 解决方法 涂抹凡士林油 变波长干涉仪 (ZYGO VeriFire) 二.测量原理 在泰曼-格林干涉仪上引入短相干光源-钠光 干涉图的处理 测量过程中，采集到的是静态单幅干涉图。 采用虚光栅莫尔条纹法处理单幅干涉图，提取波面信息。 虚光栅莫尔条纹法 5.四步移相法提取相位 三.实 验 实验设备： 被测样品为前后表面平行度很好的K9玻璃，平均厚度为13mm。 使用的干涉仪是英国N230型泰曼式干涉仪； 光源选用相干长度较短的钠光灯，波长λ=589.3nm。 实 验 测量得到的干涉图： 实 验 被测平板前表面面形： 实验比对 四.总结 在泰曼-格林式干涉仪中引入短相干光源钠光，解决了被测样品前后表面的反射光干涉混叠的问题，达到了测量平行平板型光学材料（如平行平板玻璃、晶体薄片）的面形的目的。 对于厚度更小的平行平板光学元件，例如晶体薄片，可以采用相干长度更短的光源进行测量，例如LED光源。 * * reference plane test sample Fizeau Fizeau 激光良好的相干性会导致干扰条纹的产生 Fizeau 不易彻底清洗光学元件 涂覆油脂会影响某些光学材料的表面质量 BACK 解决方法 test plate reference plane CCD 钠光 1.加入载频的干涉图 2.引入参考干涉图(虚光栅) 虚光栅莫尔条纹法 莫尔条纹 虚光栅莫尔条纹法 滤波后的干涉图 BACK PV=0.112λ= 66.0nm， rms=0.027λ= 17.1nm 。 实 验 PV=0.104λ′= 65.8nm， rms=0.025λ′= 15.8nm PV=0.112λ = 66.0nm， rms=0.027λ = 17.1nm 。 BACK * *