基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究-中国机械工程.pdf

中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月 23 12 2012 6 基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究 吴志顺 崔长彩 叶瑞芳 黄 辉 李 兵 黄春棋 暋 暋 暋 暋 暋 暋 暋 , , 华侨大学 厦门 361021 : 、 , 摘要 为了解决实际操作中人工寻找干涉条纹费时 不准确和干涉扫描范围难以精确确定等问题 , 。 提出了一种自动扫描技术 实现了白光干涉仪的自动对焦和干涉扫描范围的自动确定 该技术采用全 。 , ; , 新的基于图像灰度方差变化的方法 首先 计算图像灰度方差变化比值 然后 将该比值与预先设定的 , ; , 。 阈值进行比较 判断干涉条纹初始和结束位置 最后 根据这两个位置 自动确定干涉扫描范围 实验证 : , 明 当阈值取 0灡5时 采用粗精双级结构的白光干涉仪能在 3min内准确完成 1灡2m被测高度的自动扫 毺 , 。 。 描过程 约是手动调节速度的两倍 该技术提高了白光干涉仪的自动化水平及使用效率 : ; ; ; 关键词 白光干涉 自动扫描 干涉条纹 图像处理 中图分类号: ; ; : / TH741 TP271.4 TP317.4暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2012.12.020 j ResearchonWhite-lihtInterferometerAutomatic g Scannin Technolo BasedonThreshold g gy WuZhishun暋CuiChancai暋YeRuifan暋Huan Hui暋LiBin暋Huan Chuni g g g g g q , , , HuaiaoUniversit XiamenFuian361021 q y j : AbstractInordertoovercometheinefficiencandlow recisionofmanualsearchforinterference y p , frinesandthedifficultofdeterminin inte