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扫描探针显微镜（SPM）原理简介 庞文辉2012.2.22 一、SPM定义 扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）是扫描隧道显微镜及在 扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜AFM,激光 力显微镜LFM，磁力显微镜MFM等等）的统称，包括多种成像模式，他们的共同特点 是探针在样品表面扫描，同时针尖与样品间的相互作用力被记录。 SPM的两种基本形式： 1、扫描隧道显微镜（Scanning Probe Microscope,STM） 2、原子力显微镜（Atomic Force Microscope,AFM） AFM有两种主要模式：  接触模式（contact mode）  轻敲模式（tapping mode） SPM的其他形式：  侧向摩擦力显微术 （Lateral Force Microscopy）  磁场力显微镜（Magnetic Force Microscope）  静电力显微镜 （Electric Force Microscope）  表面电势显微镜 （Surface Potential Microscope）  导电原子力显微镜（Conductive Atomic Force Microscope）  自动成像模式（ScanAsyst）  相位成像模式（Phase Imaging）  扭转共振模式（Torisonal Resonance Mode）  压电响应模式（Piezo Respnance Mode）  „„ 二、STM原理及应用 基于量子力学中的隧穿效应，用一个半径很小的针尖探测被测样品表面，以金 属针尖为一电极，被测固体表面为另一电极，当他们之间的距离小到1nm左右时，形 成隧道结，电子可从一个电极通过量子隧穿效应穿过势垒到底另一个电极，形成隧 穿电流。在极间加很小偏压，即有净隧穿电流出现。隧穿电流与两极的距离成指数 关系，反馈原理是采用横流模式，当两极间距不同（电流不同），系统会调整Z轴的 位置从而成高度像。 应用范围：导电样品  形貌像  扫描隧道谱（STS） 三、AFM原理及应用 AFM的反馈原理：探针在样品表面扫描，针尖顶部原子的电子云压迫样品表面原 子的电子云时，会产生微弱的排斥力，如：范德华力、静电力等，力随样品表面形 貌的变化而变化。同时针尖与样品表面的相互作用力被记录，通过激光光束探测针 尖的位移，从而得到样品的形貌。  接触模式（contact mode） 反馈原理：针尖与样品距离比较近，靠悬臂梁的偏折量反馈，扫描过程中要 保持恒定的偏折量，当样品表面的高低变化时，悬臂的偏折量也会随之变 化，要保证恒定的偏折量，就要改变Z轴的位置从而成高度像。  轻敲模式（tapping mode） 反馈原理：扫描过程中悬臂以一定的频率和振幅在振动，轻敲模式靠振幅反 馈，扫描过程要保持恒定的振幅，当样品表面高低变化时，悬臂的振幅也会 随之变化，要保证恒定的振幅，就要改变Z轴的位置从而成高度像。 两者的优势和劣势：  接触模式扫描速率快，适合做一些相对比较粗糙的样品，且对样品表面和针 尖的损伤都较大，成像质量不如轻敲模式。  轻敲模式的扫描速率相对较慢，适合测试比较平整的样品，对样品盒针尖的 损伤较小，图像质量好。 四、压电扫描器 压电陶瓷的伸缩量与所加的电压成非线性关系，存在滞后效应和老化效应。经 过校正系统已经把这种非线性效应考虑进去并消除。 扫描过程中，样品台静止，探针振动（电压驱动压电陶瓷运动）。 五、 探针介绍