用干涉条纹图像重建反射镜的三维面形-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ４ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ４ Ａ ｒ．２００７ 　 　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０４０５９９０５ 　 用干涉条纹图像重建反射镜的三维面形 曹华梁，程祖海，余亮英 （华中科技大学 武汉光电国家实验室激光科学与技术研究部，湖北 武汉４３００７４） 摘要：给出了用干涉条纹图像重建反射镜三维面形的方法，用泰曼 格林干涉仪采集被测镜面的干涉条纹图像，通过对干  涉条纹图像进行处理得到镜面高度采样，采用泽尼克多项式拟合镜面的曲面函数，测量到了镜面的三维高度数据。干涉 条纹图像上相邻条纹与参考面之间的距离相差一个标准光源波长，因而该测量方法的关键是得到条纹波峰或波谷的精 确位置，从而达到了镜面相对高度的采样的目的。采用巴特沃斯低通滤波对条纹图像进行滤波，去掉噪声的影响，然后 对图像二值化分割出亮条纹，用数学形态法对二值条纹图像细化得到条纹的中心线，结果表明，低通滤波方法能有效地 减少细化条纹的分支和断裂。最后定义每条条纹中心线的相对高度，利用前 项泽尼克多项式对镜面高度进行最小二 ３９ 乘法拟合，计算了镜面被测区域的曲面高度数据。该方法可以用来测量强激光引起的镜面热变形。 关 键 词：干涉条纹；图像处理；去噪；泽尼克多项式 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＰ３９１．４ Ａ 　　 犚犲犮狅狀狊狋狉狌犮狋犻狅狀狅犳３犇狊狌狉犳犪犮犲狅犳犿犻狉狉狅狉犫 狉狅犮犲狊狊犻狀犳狉犻狀犲犪狋狋犲狉狀 狔狆 犵 犵狆 ， ， ＣＡＯＨｕａｌｉａｎ ＣＨＥＮＧＺｕｈａｉＹＵＬｉａｎｉｎ ｇ ｇｙ ｇ （ ， 犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犔犪狊犲狉犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 犠狌犺犪狀犖犪狋犻狅狀犪犾犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅狉 狆 犳 犵狔 狔犳 ， ， ， ） 犗 狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊 犎狌犪狕犺狅狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 犠狌犺犪狀４３００７４犆犺犻狀犪 狆 犵 狔 犳 犵狔 ：