基于光栅相位偏折的高反射曲面三维形貌测量-计算机工程.pdf

第39 卷 第6 期 计 算 机 工 程 2013 年6 月 Computer Engineering June 2013 Vol.39 No.6 文献标识码文献标识码：：A 文献标识码文献标识码：： 中图分类号中图分类号：：TP391 文章编号文章编号：：1000——3428(2013)06——0299——05 中图分类号中图分类号：： ·开发研究与工程应用·开发研究与工程应用·· 文章编号文章编号：： —— —— —— ··开发研究与工程应用开发研究与工程应用·· 基于光栅相位偏折的高反射曲面三维形貌测量基于光栅相位偏折的高反射曲面三维形貌测量 基于光栅相位偏折的高反射曲面三维形貌测量基于光栅相位偏折的高反射曲面三维形貌测量 李绍辉李绍辉，刘书桂，刘书桂 ，张宏伟，张宏伟 ，韩淑建，韩淑建，季莉栓，季莉栓 李绍辉李绍辉，，刘书桂刘书桂，，张宏伟张宏伟，，韩淑建韩淑建，，季莉栓季莉栓 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 ，天津 300072) 摘摘 要：要 ：针对高反射曲面零件的三维形貌测量，提出基于迭代的光栅相位偏折测量方法 ，通过建立相位偏折信息与工件表面梯度 摘摘 要要 ：： 和高度的对应关系 ，采用结合区域波前重构和路径积分的三维重建算法，由梯度恢复被测工件表面形貌。实验结果表明，该方法 可实现对大面形或曲率较大的高反射曲面三维形貌的测量 ，测量范围达到 150 mm×150 mm×20 mm，测量精度约为 40 m 。 关键词关键词：高反射曲面： ；三维形貌测量；光栅相位偏折；区域波前重构；路径积分；时间相位展开 关键词关键词：： Three Dimensional Shape Measurement of Specular Surface Based on Phase Deflectormetry LI Shao-hui, LIU Shu-gui, ZHANG Hong-wei, HAN Shu-jian, JI Li-shuan (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology Instruments, Tianjin University, Tianjin 300072, China) 【【Abstract 】】To solve the requirement for the 3D shape measurem