壳层形态对核／壳结构ps／sio复合磨料抛光性能的影响-摩擦学学报.pdf

第 ３４卷　第５期 摩 擦 学 学 报 Ｖｏｌ３４　Ｎｏ５ ２０１４年９月 Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ Ｓｅｐｔ，２０１４ 壳层形态对核／壳结构ＰＳ／ＳｉＯ 复合 ２ 磨料抛光性能的影响 赵晓兵，李志娜，钱　程，陈　杨 （常州大学 材料科学与工程学院，江苏 常州　２１３１６４） 摘　要：以聚苯乙烯（ＰＳ）微球为内核，通过控制正硅酸乙酯的水解过程制备具有不同壳层形态的核／壳结构ＰＳ／ ＳｉＯ 复合磨料，应用于二氧化硅介质层的化学机械抛光，借助ＡＦＭ测量抛光表面的形貌、轮廓曲线及粗糙度．ＳＥＭ ２ 和ＴＥＭ结果显示：碱性水解条件下，复合磨料的壳层由ＳｉＯ纳米颗粒组成（非连续壳层）；酸性条件下，复合磨料的 ２ 壳层则呈无定型网状（连续壳层）．抛光对比试验结果表明：复合磨料的ＰＳ弹性内核有利于降低表面粗糙度并减少 机械损伤，ＳｉＯ壳层则有利于提高材料去除率，复合磨料的核／壳协同效应对于提高抛光质量具有主要影响．相对于 ２ 非连续壳层复合磨料，具有连续壳层的ＰＳ／ＳｉＯ 复合磨料能够得到更低的抛光表面粗糙度值（ＲＭＳ＝０．１３６ｎｍ），且 ２ 在抛光过程中表现出了更好的结构稳定性．然而，ＰＳ／ＳｉＯ 复合磨料的壳层形态对抛光速率的影响则不明显． ２ 关键词：复合磨料；核壳结构；化学机械抛光；壳层形态 中图分类号：ＴＢ３８３ 文献标志码：Ａ 文章编号：１００４－０５９５（２０１４）０５－０５７８－０８ ＴｈｅＥｆｆｅｃｔｓｏｆＳｈｅｌｌＭｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｏｎｔｈｅＰｏｌｉｓｈｉｎｇＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆＰＳ／ＳｉＯ ＣｏｍｐｏｓｉｔｅＡｂｒａｓｉｖｅｓ ２  ＺＨＡＯＸｉａｏ－ｂｉｎｇ，ＬＩＺｈｉ－ｎａ，ＱＩＡＮＣｈｅｎｇ，ＣＨＥＮＹａｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈａｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｊｉａｎｇｓｕ２１３１６４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅＰＳ／ＳｉＯ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅａｂｒａｓｉｖｅｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｓｈｅｌｌｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｕｓｉｎｇｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ（ＰＳ）ａｓａ ２ ｃｏｒｅａｎｄｓｉｌｉｃａａｓａｓｈｅｌｌ．Ｔｈｅｓｈｅｌｌｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｗｅｒｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄｂｙａｄｊｕｓｔｉｎｇｔｈｅｈｙｄｒｏｌｙｓｉｓｃｏｎｄｉｔｉｏｎｏｆ ｔｅｔｒａｅｔｈｙｌｏｒｔｈｏｓｉｌｉｃａｔｅ．Ｔｈｅｏｂｔａｉｎｅｄｓａｍｐｌｅｓｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄｂｙｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙａｎｄｆｏｕｒｉｅｒｔｒａｎｓｆｏｒｍｉｎｆｒａｒｅｄｓｐｅｃｔｒｕｍ．Ｔｈｅｃｈｅｍｉｃａｌｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｏｌｉｓ