硬质合金刀具zrc涂层的沉积-中南大学功能薄膜材料研究室.pdf

第 卷第 期 硬 质 合 金 年 月 29 3 2012 6 Vol.29 No.3 CEMENTED CARBIDE Jun. 2012 !!!! ! 材料科学 ! !!!! doi ：10.3969/j.issn.1003-7292.2012.03.001 硬质合金刀具ZrC 涂层的沉积 李秀萍1,2 余志明1 陈响明2 刘王平2 （1.中南大学材料科学与工程学院，湖南长沙410083 ； 2.株洲钻石切削刀具股份有限公司，湖南株洲412007 ） 摘 要 采用原位卤化反应直接形成的 气体作为 源， 在硬质合金刀具上沉积 ZrCl4 Zr 涂层。 用 ， 分析检测了合金刀具基底不同表面上沉积生长 涂层 CVD-ZrC SEM XRD ZrC 的厚度均匀性、沉积速率、形貌组织、织构取向；通过理论计算与工艺实际的涂层沉积 转化率对比， 定量表征了该沉积体系工艺参数下ZrC 涂层的沉积转化率。 结果显示， CVD 涂层炉内不同位置合金刀片表面沉积的ZrC 涂层均匀；由于工艺温度限制，涂层 沉积速率较低； 转化为 涂层的工艺实际转化率约 ， 在理论最大转化率 ZrCl4 ZrC 11% 14%范围内；相同温度下随着沉积压力升高，涂层的沉积转化率缓慢降低到 10%并趋于 稳定；直接在合金基底沉积形成的ZrC 涂层为细小的颗粒状形貌，而在合金基底TiN 涂 层表面上沉积生长的ZrC 具有典型的片状组织形貌；对应的涂层生长织构取向从（311 ） 到（111）转变。 关键词 ZrC ； 硬质合金； 原位； 卤化反应； 沉积速率； 转化率； 织构取向 Deposition of ZrC Coating on Cemented Carbide Tools Li Xiuping1,2 Yu Zhiming1 Chen Xiangming2 Liu Wangping2 (1. School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha Hunan 410083, China;