点衍射干涉系统光学结构参数优化研究-强激光与粒子束.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２６ ５ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．５ 　 　 年 月 ， ２０１４ ５ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｍａ ２０１４ 　 　 ｙ 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究 邵卫红， 杨甬英， 陈晓钰， 刘 东， 沈亦兵 　 　 　 　 　 （浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，杭州 ３１００２７） 摘 要： 采用时域有限差分方法，在分析点衍射波前误差的前提下，讨论了点衍射干涉系统中物镜数值 　　 　 　 孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响；逐步优化光学结构参数，得到不同光学结构参数之间的匹 配数值表；通过比较点衍射干涉系统和 Ｚ ｏ干涉仪对球面镜的测量结果，得到测量面形误差的均方根之差为 ｙｇ 波长的 ／ ，且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度，验证了光学结构参数选择的合理性。 １１０００ 关键词： 点衍射干涉检测； 时域有限差分方法； 衍射波前误差； 衍射光强； 光强均匀度 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ４３６．１ Ａ 犱狅犻１０．１１８８４ＨＰＬＰＢ２０１４２６．０５１００１ 　　 　 　　　　 　 　　 随着光刻技术的快速发展，对于光学面形检测技术提出了越来越高的要求。光学干涉检测技术因为具有 　　 ［ ］ １２ 精度高、检测孔径大等优点，成为了光学元件面形检测中最常用的方法 。现有商用干涉仪基本上都是利用 ［］ ３ 标准面来产生参考波前进行检测 ，其检测精度在很大程度上受到标准面加工工艺的限制，一般只能达到均方 ［ ］ ４６ 根（ ）为 ／ ／ 量级。而点衍射干涉检测技术 是通过点衍射原理来获取误差非常小的参考波前， ＲＭＳ １００ ５０ λ ～λ ［］ 避免了高精度标准面的加工， 达到 ／ ７ 。 ＲＭＳ λ１０００ ［］ ［］