mmi微压印模板的设计与研究 design and research of imprinting stamp for mmi waveguide device.pdfVIP

第30卷第1期 压电与声光 V01．30No．1 Feb．2008 2008年2月 PIEZOELECTECTRICSACOUSToOPTICS 文章编号：1004—2474(2008)O卜0036—03 MMI微压印模板的设计与研究 英1’2 王海容h2，蒋庄德1’2，刘俊明1’2，周志涛1’2，张 (1．西安交通大学机械制造系统国家重点实验室，陕西西西安交通大学精密工程研究所，陕西西安710049) 摘要：微纳米压印技术作为代替传统光刻的一种新兴技术，有着重要的应用潜力。近年来在直接加工微器 件如微流体、微生物器件，特别是在微平面光学器件方面得到了较快的发展。采用微压印法直接加工聚合物微平 面光学器件是一个具有实用价值和研究价值的课题。该文首先讨论并选取了聚甲基丙稀酸甲酯(PMMA)