parylene薄膜及其在mems中的应用 parylene film and its applications in mems.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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parylene薄膜及其在mems中的应用 parylene film and its applications in mems.pdf

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parylene薄膜及其在mems中的应用 parylene film and its applications in mems

MEMS器件与技术 MEMS DeVjce&Techn0109y 王亚军，刘景全，杨春生，沈修成，郭忠元 (上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030) 在微流体系统的应用，包括微阀、微泵和微通道；在可植入微系统中的应用，包括人工耳蜗和视微传感器和微驱动器上，Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。关键词：聚对二甲苯；微阀；微泵；微通道；人工耳蜗；视网膜假体；微机电系统中图分类号：TM211；TH703文献标识码：A FilmandIts inMEMS Parylene Applications un，Liu Shen Guo WangYaj Jingquan，YangChunsheng，Xiucheng，Zhongyuan (Nn￡io行nZ K8yLⅡ6D，‘口zory D，JV口行o／^靠f，‘D民6rif4fiD行：Kc^咒DZogy， Thi住Fitmand Education， KeyLnborator，for Microfabr记QtionofMinstryof J咒5fi￡甜fP n竹dN口，zo 200030，C丘i以口) D，Mifo Lkiz肥r5ify，S^n，zg矗ai SciP行cP口珂d丁■c^靠D￡ogy，S^口，zg矗ni．，i口DfD7zg Abstract： and andits Parylenepreparationprocessin：Parylenedepositionpatterningapplications inmicrofluidicsuchas and Fur_ microValve， microchannel，areintroduced． system， micropump thermore，theof based suchasartifi— Parylene biotechnology progress implantable microsystem， cial cochlearandretinal arediscussed．Recentresearchesshowthat MEMS prosthesis， Parylene haswide inMEMS and It applicationsmicrostructures，microsensorsmicroactuators．isbelieved that hasa futurein