ZrCuNiAlTi块体非晶合金的变温晶化行为.pdfVIP

第 36 卷第7 期 稀有金属材料与工程 Vo 1.36, No.7 2∞7 年 7 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING July 2007 ZrCuNiAITi 块体非晶合金的变温晶化行为 邢大伟 1 ，黄永江 1 ，沈军 1 ，杨黎2 ，孙剑飞 1 (1.哈尔滨工业大学，黑龙江哈尔滨 150001) (2. 深圳天马微电子股份有限公司，深圳 518118) 摘 要z 研究了 ZrS6.6CUl7.3Nh2.sA1 . TÍ4 (at.%)块体非晶合金连续升温过程中的晶化行为。结果表明，随着升温速度的增 9 6 加，特征温度凡，丑，岛， T 2 均向高温区移动，特征温度与升温速度的关系可以用一次指数衰减关系拟合。采用 Kissinger p 法和 Ozawa 法分别计算了特征温度对应的激活能Eg， Ex , Epl E 2. 由于不同升温速度下特征温度对应的晶化体积分数 p 几乎不变，因而，采用 Kissinger 法计算结果与 Ozawa 法的计算结果呈现一致性。 Eg ， Ex , E , E 2 之间的大小关系为s p1 p 臼 旬 Eg E Ep2Ex。 p1 关键词g 块体非晶合金:晶化行为:激活能 中固法分类号: TG 146.4+14 文献标识码:A 文章编号: 1002-185X(2007)07-1181-04 非晶合金作为一种亚稳态材料，较之相应的晶态 微镜确定，透射电镜加速电压 200 kV 。采用 材料具有更高的内能，当其被加热到足够高的温度时， Perkin-Elmer Pyris 1 型差示扫描量热仪 (DSC) 在高 会发生结构转变而由非晶态向稳定的晶态过渡[1 ， 2] 。控 纯氧气保护下进行热分析，所选用的升温速度分别为 制非晶态转变为晶态的过程，保证非晶基体上析出一 20 , 30 , 40 , 80 .C/min。 定体积分数的纳米尺寸的金属间化合物，可使材料获 2 结果与分析 得更为优越的性能[3] 。对晶化过程的研究有利于控制 非晶合金在晶化过程中的组织和晶化后材料的性能， 块体非晶合金的高 图 1 为 ZrS6.6CU17.3Ni12.sAI9.6Ti 4 研究非晶合金的晶化行为具有十分重要的意义。很多 分辨电镜像及选区电子衍射花样。高分辨电镜呈现非 学者研究了非晶合金的等温晶化及结构转变[4-8] 。然而， 晶材料特有的点状无序