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SooPAT 三氯硅烷制造装置
SooPAT
三氯硅烷制造装置
申请号:200780027354.3
申请日:2007-10-25
申请(专利权)人三菱麻铁里亚尔株式会社
地址 日本东京都
发明(设计)人石井敏由记 伊藤秀男 清水祐司
主分类号 C01B33/107(2006.01)I
分类号 C01B33/107(2006.01)I
公开(公告)号101489931
公开(公告)日2009-07-22
专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司
代理人 温大鹏
注:本页蓝色字体部分可点击查询相关专利
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