三维面形测量系统的基本原理.doc

三维面型测量细棒的直径 一、实验目的 （1）了解三维面型测量的基本原理和方法，熟悉傅立叶变换剖面术的方法， （2）通过对物体的三维面形的重建，掌握三维目标的识别、位置形状分析及origin75的使用方法。 （3）能够根据携带有三维面形信息的观察光场中解调得出三维面形数据。 （4）,工业检测，机器视觉，产品质量控制，三维信息存贮，三维数字全息，影视特技，三维动画等众多领域。系统软件在 Windows 平台上运行，具有中文菜单，操作十分方便。三维面形测量仪已在国内推广使用，并已出口到美国。 三维面形测量的基本方法主要有：（1）飞行时间法；（2）激光三角测量法；（3）付里叶变换方法；（4）位相测量方法；（5）空间位相检测法；（6）莫尔轮廓术。在上述方法中，位相测量方法由于速度较快，精度较高，是一种比较理想的复杂面形测量方法。 三、采用位相测量原理的三维面形测量方法 傅里叶变换轮廓术测量系统的光路原理如图所示。图中Ep’Ep是投射系统的光轴，Ec’Ec是成像系统光轴，两光轴相交于参考平面R上的O点。朗奇光栅G的栅线垂直于EpEcO平面，光栅像被投影系统投影在待测物体表面。由于物体面形的调制，观察系统得到变形的光栅 像，S是就收变形光栅像的面阵检测器。由成像系统得到的变形光栅像可以记为 g(x.y)= r(x,y) （1） 式中，f0是光栅像的基频，r(x,y)是物体表面非均匀的反射率，φ（x,y）是物体高度分布引起的相应调制，即 （2） 当h(z,y)=0,即对参考平面R测量时，变形光栅像为 = （3） 图2 式中。对（1）的变形光栅像进行一维傅里叶变换，对于某一固定的y坐标，其傅里叶变换谱如图2所示. 再对频谱滤波，取出图中所示的基频分量，然后做傅里叶逆变换，光场分布变为 g(x.y) = (4) 对式（3）进行相同的运算，得到 = (5) 0(x,y)是由于投影系统的出瞳Ep在有限远所引入的附加相位调制，这时结构光场的照明是发散的。 当投影系统的出瞳位于无穷远时，在参考平面上的相位分布时线性的，附加相位调制0(x,y)等于零。在这种情况下，图1中入射线Ep A变为EA，即与光轴Ep O平行。对于发散照明情况，单纯由高度引起的相位调制△为 △ = -0(x,y) = （6） 这一相位调制可以从（4）和式（5）通过下列运算得到： △ = （7） 式中，＊表示共轭运算，Im{} 表示取复数的虚部。利用三角形 △HCD 和 △HEpEc 的相位关系，可以得到所需的三维面形h(x,y)为 h(x,y) = （8） 四、测量原理的主要特点 基于位相测量的三维面形测量方法，具有非接触，大数据量（例如：512×512点），测量速度快，精度高等特点，特别是可用于复杂面形的测量，这是任何常规接触式测量工具所无法比拟的。 但是，这种光学非接触测量方法也有一些局限性。（1）与常规计量工具相比具有较低的精度；（2）物体必须有漫反射表面，表面反射率比较均匀；（3）物体表面的局部起伏不能太大，以免产生阴影，局部起伏较大的区域和阴影区的数据是不可靠的。 由于这种测量方法的特点和局限性，因此该方法常用于测量那些常规计量无法解决的复杂三维漫反射表面。 三维面形自动测量仪主要性能指标： 1．测量范围：200 x 200 mm 2．被测深度：50mm 3．精度： 0.2 mm 4．采样速度：30秒 5．自动校准 6．基本软件： ·自动校准，自动测量，立体图形显示、剖面显示，高度假彩色编码等功能的集成系统软件 基本配置： 1）仪器主体 2）电子控制箱 3）图像板 4）电控平移台 5）软件包 五、实验步骤 1、按图1所示光路图搭建光路。 2、打开OE-3D软件，选择“文件”下的“单CCD捕获图像”然后再选择CCD型号为 “P2V_DEF-CC512*512P”端口号为“Port 6”调节CCD镜头的焦距，使参考平面上的光栅条纹在计算机上清晰可见。并依次点击“获取图像”、“停止捕获”、“抓图”、“保存”。最终得到参考平面的图像。如图2所示： 图2 参考平面光栅条纹 3、将细金属棒放在参考平面上，重复第二步，得到物平面的图像，如图3所示：