犻荦犜犻多层膜组织结构和结合力的影响.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２８ ２ Ｖｏｌ．２８ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１５ ４ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ａ ｒｉｌ ２０１５ ｐ ： ／ ｄｏｉ１０．１１９３３ ．ｉｓｓｎ２０１５．０２．００６ ｊ 调制周期对 ／ 多层膜组织结构和结合力的影响 犜犻犖犜犻 ａ ｂ ｂ 肖 娜 ，杜菲菲 ，杨 波 　 　 （东北大学 材料电磁过程研究教育部重点实验室， 材料各向异性与织构教育部重点实验室，沈阳 ） ａ． ｂ． １１０８１９ 摘 要：为了阐明调制周期对薄膜微观组织及薄膜与基体结合力的影响，采用反应磁控溅射在 Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ基板上交替 　 沉积了 层及 层制备了 ／ 多层膜。利用 射线衍射仪（ ）、扫描电子显微镜（ ）、显微硬度仪和划痕 Ｔｉ ＴｉＮ ＴｉＮ Ｔｉ Ｘ ＸＲＤ ＳＥＭ 仪测量分析了薄膜的晶体结构、微观组织、硬度以及薄膜与基体之间的结合力。研究结果表明： ／ 多层膜中均存在 ＴｉＮ Ｔｉ ， 和 种相。 ／ 多层膜均以柱状晶方式生长，在调制周期较大（层）时， 和 层的界面清晰；随着 ＴｉＮ Ｔｉ ＴｉＮ３ ＴｉＮ Ｔｉ ５ ＴｉＮ Ｔｉ ２ 调制周期的减小（层数增加）， 和 层的界面逐渐消失。与单层 薄膜相比，多层 ／ 薄膜的硬度显著提高； ＴｉＮ Ｔｉ ＴｉＮ ＴｉＮ Ｔｉ 但随着薄膜层数的增加，多层 ／ 薄膜硬度略微降低。当调制周期为 （ 层）时，薄膜与基体的结合力明显提 ＴｉＮ Ｔｉ ８０ｎｍ ３０ 高，达到 ７３Ｎ。 关键词：反应磁控溅射； ／ ；调制周期；结合力 ＴｉＮ Ｔｉ 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４４ Ａ １００７９２８９２０１５０２００６５０５ 　　　 　　　 犈犳犳犲犮狋狊狅犳犕狅犱狌犾犪狋犻狅狀犘犲狉犻狅犱狊狅狀犛狋狉狌犮狋狌狉犲犪狀犱犃犱犺犲狊犻狅狀犛狋狉犲狀狋犺狅犳 犵 ／ 犜犻犖犜犻犕狌犾狋犻犾犪犲狉犉犻犾犿狊