光电检测技术与应用第5章光电直接检测系统.pptVIP

莫尔条纹的特征 放大作用 放大倍数为 1/θ,θ越小, B越大。 例如θ=0.1°时 θ=0.1°=0.1×2π/360 =0ad W=0.02mm BH=11.4592mm。 光电传感器输出信号波形 当光栅相对位移一个栅距时，莫尔条纹移动一个条纹宽度，相应照射在光电池上的光强度发生一个周期的变化，使输出电信号周期变化，其输出波形如图： 由此可知，只要计算输出电压的周期数，便可测出位移量。从而实现了位移量向电量的转换。在一个周期内，输出波形的变化是位移在一个栅距内变化的余弦函数，每一周期对应一个栅距。 辨向原理： 用两个光电元件相距B/4安装（相当于相差90°空间角，B: 2π=B/4: π/2），如图所示，可以解决辨向问题。 当条纹上移时，V2落后于V1 90°。 当条纹下移时，V2超前于V1 90°。 因此，由V1、V2之间的相位关系可以 判别运动方向。 四倍频细分判向原理 指示光栅相对于长光栅移过一个节距莫尔条纹变化一周.工作台进行长度测量时,指示光栅的移动距离为 x=NP+δ 其中P为光栅节距,N为指示光栅移动距离中包含的光栅线对数; δ为小于1一个光栅节距的小数。 细分方法有:幅值分割、周期测量、倍频、移项、函数变换等方法。 细分技术（解决精度问题） 当使用一个光电池通过判断信号周期的方法来进行位移测量时，最小分辨力为1个栅距。为了提高测量的精度，提高分辨力，可使栅距减小，即增加刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础上，经过信号调节环节对信号进行细分，其电路框图如图所示。 莫尔条纹的应用 莫尔条纹测长仪分长光栅和圆光栅两种，光刻密度相同，通常为25，50，100，250条/mm。被广泛地应用于： 光栅数显表 光栅传感器在位置控制中的应用 轴环式数显表 机械测长和数控机床中。 代表性产品： 德国Heidenhain（海德汉）： 封闭式：量程3000mm，分辨力0.1 ?m 开放式：量程1440mm，分辨力0.01?m 开放式：量程270mm 分辨力1nm 英国Renishaw（雷尼绍）： 量程：任意分辨力： 0.1 ?m 0.01 ?m 中国长春光机所： 量 程：1000mm 分辨力：0.01 ?m 5.4.2 激光测距仪 1、 脉冲激光测距仪 脉冲激光测距利用了激光的发散角小，能量空间相对集中的优点。同时还利用了激光脉冲持续时间极短，能量在时间上相对集中的特点。因此瞬时功率很大，—般可达兆瓦级。由于上述两点，脉冲激光测距在有反射器的情况下，可以达到极远的测程；进行近距离(几公里)测量时，如果测量精度要求不高，不必使用反射器，利用被测目标对脉冲激光的反射取得反射信号，也可以进行测距。 在1处产生的激光，经过待测的路程射向2处。在2处装有向1处反射的装置，1处至2处间的距离D是待测的。如果在1处有一种装置，它能够测出脉冲激光从1处到达2处再返回1处所需要的时间t，则 脉冲激光测距的工作原理 脉 冲 激 光 测 距 仪 发射系统 接收系统 接收光学系统 光电探测器 低噪声宽带放大器 整形电路 门控电路 时钟脉冲振荡器 计数显示器 激光器：LD，ND：YAG（调Q/锁模） 电源 发射望远系统 物镜 小孔光阑 干涉滤光片 它由脉冲激光发射系统、接收系统、控制电路、时钟脉冲振荡器以及计数显示电路等组成. 由光电器件得到的电脉冲，经放大器以后，输出一定形状的负脉冲至控制电路。由参考信号产生的负脉冲A(图(d))经控制电路去打开电子门。这时振荡频率一定的时钟振荡器产生的时钟脉冲，可以通过电子门进入计数显示电路，计时开始。当反射回来经整形后的测距信号B到来时，关闭电子门，计时停止。计数和显示的脉冲数如图(g)所示。从计时开始到计时停止的时间正比于参考信号与测距信号之间的时间。 则被测距离为： 2、 相位激光测距仪 测距用的调制光波形如图所示，若其调制频率为f，光速为c，则波长λ可由式λ=c/f 求出。光波每前进一个波长λ相当于相位变化了2π则距离D可表示为： “光尺”测量距离原理图 测距时，调制激光照在合作目标上，被反回接收经光电转换后得到相同的电信号，与光源的驱动电压相比较，测得相位差，由相位差可算得所测距离。 为了便于理解测距仪的测相系统对光波往返二倍距离后的相位移进行测量，图中说明了光波在距离L上往返后的相位变化。 如果设光波从A到A’点的传播过程中相位变化(又称为相位移)为φ，则由图看出，被测距离为： 由上分析可知，如果测得光波相位移φ中2π的整数