石英晶体膜厚控制仪-上海膜林.pdfVIP

下载本文档

106
0
约7.36万字
约 69页
2017-08-30 发布于天津
举报
版权申诉

石英晶体膜厚控制仪-上海膜林.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

石英晶体膜厚控制仪-上海膜林

石英晶体膜厚控制仪 XDM、MXC Crystal Thin Film Deposition Controller User manual 用户手册上海膜林科技有限公司 Shanghai MorningTech Co., Ltd XDM 用户手册目录：变更履历第一章仪器介绍与技术规格 1.1 仪器介绍 1.2 技术规格 1.3 MXC-3K与 XDM-3K 异同点第二章硬件安装及配置 2.1 XDM2 前面板 2.2 XDM2 接口 2.3 XDM3 接口 2.4 振荡包XDM-X 接口 2.5 仪器硬件总体 2.6 输入端口自定义配置 2.7 输出端口自定义配置 2.8 蒸发源坩埚配置 2.9 硬件配置举例一 2.10 硬件配置举例二第三章仪器使用 3.1 人机界面操作 3.2 系统使用介绍 3.3 新手上路第四章通信协议参见串口通信协议篇，另附。第五章常见问题及对策 5.1 常见问题及对策 5.1.1 新晶振片安装后损耗不正常 5.1.2 晶振探头是否良好的快速检测方法 5.1.3 晶振失效或频率不稳定 1 XDM 用户手册 5.1.4 输入输出检查 5.1.5 坩埚不转动、不到位或到位与手动存在偏差 5.2 联系我们第六章一些说明 6.1 XDM 如何实现自动控制 6.2 基本原理 6.3 厚度计算方法及多层膜算法 6.4 阻力损耗 6.5 密度与声阻抗率 6.6 比例系数 6.7 PID 速率控制 6.8 晶控厚度控制 6.9 控制延迟 6.10 最大功率延迟 6.11 如何指定运行膜系 6.12 如何只用于监测速率和厚度 6.13 可选功能 6.14 为什么有时镀膜机打到自动时，坩埚会自己跑到 1 号位附录A上位机Windows API串口编程举例附录B 常见材料Z-ratio,Density表 2 XDM 用户手册变更履历版本发行日期变更略要作成者审核备注 Ver2.0.0 2012.07.26 初版张子业非公开版 Ver2.0.1 2013.04.30 新增 XDM3 张子业用户版 Ver