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第五章 真空系统的计算 前面已学: 真空的基础知识 低、高、超高真空的泵的工作原理、应用领域 低、高、超高真空的测量原理与方法 各种真空系统的组成等 第五章 真空系统的计算 本章主要内容 1. 两个基本关系及其运用 流量恒定关系 有效抽速与泵抽速之间的关系 2. 通过实例学习相关计算 ⑴流导大小对有效抽速的影响 ⑵机械泵与扩散泵的配合 ⑶不同气压下流导的计算 第五章 真空系统的计算 §1. 几个基本量与基本公式介绍 一.基本量 1.体积流率: (气体量:PV) 单位: 升/秒, 米3/秒 意义:单位时间内流过管道任一特定截面的气体 体积。 2.气体量流率(即流量Q): (Q= ) Q=P 乇·升/秒, 帕·米3/秒 意义:单位时间内流过特定截面的气体量。 第五章 真空系统的计算 3.流导C: C= 升/秒 4.抽速S: S= |P=P0 升/秒 单位时间泵入口处抽入的气体体积。 5.抽除量: 乇·升/秒 抽速乘泵入口处压强: SP 意义:单位时间抽走的气体量 第五章 真空系统的计算 二.不同流动状态下的流导基本公式 1.粘滞性流动(长圆管) C= = (CGS制) =2.03×10-4 g/cm·s 20℃时空气: C=182 升/秒 ( cm, 乇) 第五章 真空系统的计算 2. 分子性流动(长圆管) C= (CGS制) 20℃时空气: C= 升/秒 (d, l 用cm) 第五章 真空系统的计算 §2. 两个基本关系: 1.流量恒定关系 在稳定流动下,流过理想管道(不漏气,不吸气、不放气)各个不同截面的流量相 等。 第五章 真空系统的计算 2.有效抽速与泵抽速之间的关系 容器与泵之间经过管道连接时,泵在容器处的抽速会降低 第五章 真空系统的计算 管道入口处,流入量: 出口处,泵抽除量: 通过管道的流量:Q=C( ) 则, = C( )= 由前两项: =C → = → - = 第五章 真空系统的计算 由前后两项: = , 代入上式: 得: - = 即: = + → = ……(1) → = ……(2) → = ……(3) 第五章 真空系统的计算 由(2)式可知: 应尽量增大C,才能使 → 可见: 为充分发挥泵的效能,应用粗而短的管道。 由(3)式知: 如管道很细长(C很小), →C,与 无关,用大抽速真空泵只是浪费。 第五章 真空系统的计算 3.流导大小对有效抽速影响的计算实例 题目: 有一容器,经一管道与泵连接,求管 道流导分别为:C=10 ;C= ; C= 时,容器出口处有效抽速是泵 抽速的多少倍? 第五章 真空系统的计算 第五章 真空系统的计算 第五章 真空系统的计算 第五章 真空系统的计算 第五章 真空系统的计算 第五章 真空系统的计算 第五章 真空系统的计算 第五章 真空系统的计算 12.5 乇时, C=182× * C 2.038 1 (故属分子性流动) (3) 流导计算 * * *
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