83电荷耦合器件CCD.pptVIP

第8章 固态传感器 §8-3 电荷耦合器件 CCD背景知识： 人们获取的信息量的绝大部分都是通过视觉器官得到的，为此获得性能良好的图像传感器一直是人们的追求，早期的非固态图像传感器-电子束摄像管与后来的固态图像传感器相比，有工作电压高，功耗大，寿命短，笨重等众多缺点。而固态图像传感器的开发直到集成电路出现后才开始，而怎样将光照到半导体产生的电信号，正确有效取出是图像传感器固态化最大的问题。 第8章 固态传感器 §8-3 电荷耦合器件 CCD背景知识： 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 §8-3 电荷耦合器件 电荷耦合器件——(Charge-Coupled Device (简称CCD)） 说明：CCD并不是一种新发明的器件，是MOS电容器的一种新的用法。在适当次序的时钟控制下，CCD能够使电荷量有控制地穿过半导体的衬底而实现电荷的转换。 CCD主要功能： 信息处理和信息存储器件 固态图像传感 有体积小、重量轻、分辨率高、灵敏度高、动态范围宽、光敏元的几何精度高、光谱响应范围宽、工作电压低、功耗小、寿命长、抗震性和抗冲击性好、不受电磁场干扰和可靠性高等一系列优点。 被广泛应用于生活、天文、医疗、电视、传真、通信以及工业检测和自动控制系统。 MOS电容器组成的光敏元及数据面的显微照片 CCD光敏元显微照片 彩色CCD显微照片（放大7000倍） 第8章 固态传感器 在CCD中电荷的转移（右移）条件： 在MOS阵列上所加的各路电压脉冲即时钟脉冲，必须严格满足相位要求，使得任何时刻势阱的变化总是朝着一个方向。例如，电荷是向右转移，则任何时刻，当存有信号的势阱抬起时，在它右边的势阱总比它左边的深，这样，就保证了电荷始终朝右边转移。 第8章 固态传感器 涉及概念：位，相线，位数 “位”的含义：为了实现这种定向转移，在CCD的MOS阵列上划分成以几个相邻MOS电荷为一单元的无限循环结构。每一单元称为一位； “相线”的含义：将每一位中对应位置上的电容栅极分别连到各自共同的电极上，此共同电极称为相线。 举例：把MOS线列电容划分成相邻三个MOS为一单元，其中第1、4、7……电容的栅极连接在同一根相线上，第2、5、8……连接到第二个共同相线，第3、6、9……则连接到第三个共同相线。 一位CCD中含的电容个数=CCD的相数=CCD的位数 第8章 固态传感器 通常CCD结构：二相、三相、四相 时钟脉冲：二相、三相、四相。 二相脉冲：两种脉冲相位相差180°； 三相/四相脉冲：120°及90°。 当这种时序脉冲加到CCD的无限循环结构上时，将实现信号电荷的定向转移 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 第8章 固态传感器 5、CCD图像传感器的特性参数 为了全面评价CCD图像器件的性能及应用的需要，制定了下列特性参数：转移效率、不均匀度、暗电流、响应率、光谱响应、噪声、动态范围及线性度、调制传递函数、功耗及分辨能力等。不同的应用场合，对特性参数的要求也各不相同。现把主要特性参数分述如下。 第8章 固态传感器 5、CCD图像传感器的特性参数 5.1转移效率 CCD中电荷包从一个势阱转移到另一个势阱时会产生损耗。假设原始电荷量为Q0，在一次转移中，有Q1的电荷正确转移到下一个势阱，则转移效率定义为 (8-50)转移损耗(或称失效率)ε为 ε=1-η (8-51) 当信号电荷转移N个电极后的电荷量为QN时，则总效率为 (8-52)  第8章 固态传感器 转移效率η对CCD的各种应用都十分重要。 假设转移效率为99%，则经过100个电极传递后，将仅剩下37%的电荷。（即：η =99%，η100=37%） 而在实际的CCD应用中： （η =99.999%，η1000=99.0%） 第8章 固态传感器 转移效率与表面态有关: 表面沟道CCD:信号电荷沿表面传输，受界面态的俘获，转移效率最高只能达99.99%。 体内沟道CCD:信号电荷沿体内传输，避开了界面态影响，最高转移效率可达99.999%，甚至99.999 9%。 “胖零”: 为了减小俘获损耗，CCD可以采用所谓“胖零”的工作方式，即在信号外注入一定的背景电荷，让它填充陷