微细加工与纳米技术课程项目方案设计.doc

《微细加工与纳米技术》课程项目方案设计 目录 一、微机械陀螺仪研究背景…………………………………3 （一）…………………………………………………3 （二）MEMS………………………3 （三）目的…………………………………………………4 ）方法…………………………………………………5）意义…………………………………………………8 、………………………………10 （一）……………………………………10 （二）MEMS…………………………………12 三、微机械陀螺仪设计及制造………………………………13 (一) MEMS陀螺仪设计流程……………………………………13 （二）MEMS……………………………………14 （三）MEMS……………………………………16 四、机械……………………………16 （一）……………………………16 （二）……………………………17 （三）……………………………………17 1、一些微机械陀螺仪的典型应用……………………20 2微机械陀螺仪在新型鼠标或遥控器中的应用……20 、关于微机械陀螺仪发展的思考………………………21 ……………………………………………21 一、微机械陀螺仪研究背景 （一） 微机械陀螺仪的主要参数 微机械陀螺仪的重要参数包括：分辨率（Resolution）、零角速度输出、灵敏度（Sensitivity）和测量范围，这些参数是评判微机械陀螺仪性能的重要标志，同时也决定了该陀螺仪的应用环境。分辨率是指陀螺仪能够检测的最小的角速度，该参数和零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定，白噪声一般用°/s/√Hz来表征，LY530AL的白噪声只有：0.1°/s/√Hz。这三个参数着重说明该陀螺的内部性能和其抗干扰能力，而对使用者而言，灵敏度更有实际的意义，其单位是mV/°/s，由此用户可选用适合的ADC来与之匹配。测量范围是指陀螺仪能够测量的最大的角速度，单位是°/s，不同的应用对陀螺仪的测量范围有不同的要求。 ）MEMS 我国的MEMS 技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究，国家已经投入巨资用于MEMS陀螺技术的研究。目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、复旦大学、哈工大等多家单位[10-15] ，经过十多年的努力，在基础理论、加工技术和工程应用等方面的研究已取得了明显的进步。但不可否认，与国外差距仍然较大，高性能微机械陀螺少有商业化产品。 （三） （四） 微机械陀螺仪利用了哥氏力现象，其原理如图1所示。当图中的物体沿X轴做周期性振动或其他运动时，并且XY坐标系沿Z轴做角速度为Ωz旋转运动，就会在该物体上产生一个沿Y轴方向的哥氏力，其矢量可按下式计算。 式中：F(t)是哥氏力，m是该物体的质量，ΩZ是坐标系旋转的角速度，是该物体的矢量速度。 微陀螺仪基本上就是利用这个原理制造成的，不同的微陀螺仪，进行感应测算的零件材料和方法是不同的。 进行了微陀螺仪设计之后，就需要对微陀螺仪进行验算或者测试，保证微陀螺仪在各种各样需要的环境之下都能可靠运行，同时还能保证足够的感应精度。最主要的是，微陀螺仪要有足够的耐用度，没有足够的耐用度，微陀螺仪就是一个鸡肋。毕竟微陀螺仪实在是太小了，更换的时候肯定十分困难，所以，必须要有足够的耐用度。 所以，微陀螺仪的研究方法，基本上可以概括为做实验。 利用各种不同的材料和感应方法，首先做出各种不同种类的微陀螺仪，然后在各个不同的环境下进行试验，对他们进行横向比较，一点点的改进，更换材料，保证微陀螺仪的质量不断上升。 完成了设计之后，微陀螺仪就进入了加工工艺编排过程。 微陀螺仪的加工工艺编排是十分重要的，没有良好的加工工艺，对于微陀螺仪这样的精密仪器，是生产不出来的。 微陀螺仪由于是微机械，所以加工使用的机械都是高科技产品，设备昂贵。编排加工工艺的时候，必须要保证完美无缺，否则不但会损失材料，还有可能造成加工机械的破坏损失，这就是大祸事了。 微机械加工的时候，对于车间的温度、气压、空气的清洁度、加工人员的防护度都有极高的要求，务必做到严格执行相关标准。否则生产过程之中就会造成极大的损失，以后处理起来也会十分困难。 微机械陀螺仪根据驱动与检测方式分为四种：①静电驱动，电容检测；②电磁驱动，电容检测；③电磁驱动，压阻检测；④压电驱动，电容检测。其中静电驱动、电容检测的陀螺仪设计最为常见，并已有部分产品已研制成功。就目前已研制成功的微机械陀螺仪来说，其结构有以下两种：①音叉式结构，它利刚线振动来产生陀螺效应：②双框架结构，它利用角振动来产生陀螺效应。双框架角振动微机械陀螺仪研制较早，虽制作工艺简单，但音义式线振动微机械陀螺仪的灵敏度优于双框架角振动微机械陀螺仪。 一个优秀的微陀螺仪，不一定是最