mems谐振器的并联电容噪声抑制 noise depression for the parallel capacitive of mems resonators.pdfVIP

MEMS与传感器 MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 唐 梦，冯 明，程新红 (中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海200050) 摘要：由于谐振频率和谐振器质量呈线性关系。基于MEMS谐振器的等效机械和电路模型，可 用于质量传感器应用。然而，动态模式下的MEMS谐振器具有容性传导特性，其两端口结构在 电极之间会存在并联电容，扭曲其传输特性，增加整个系统的频率噪声。虽然通过改进工艺可以 一定程度地降低并联电容，然而工艺的复杂度和成本会因此大大增加。针对这个问题，提出了纯 电路的改进策略，使用可调电容或同等MEMS对两种方式来补偿并联电容的影响，从而降低频 率噪声。实验测量结果显示补偿后频率噪声大大减少，分别从300和100Hz降低到了100和 1 Hz，大大满足了其应用精度要求。 关键词：MEMS谐振器I质量传感器；生化检测；电容补偿；频率噪声 Noise fortheParallel of Depression Capac