ti-o化合物制备tio2薄膜热处理及透射率研究 study of the heat treatment and transmittances of tio2 thin films prepared by ti-o compounds.pdfVIP

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2017-08-31 发布于上海
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ti-o化合物制备tio2薄膜热处理及透射率研究 study of the heat treatment and transmittances of tio2 thin films prepared by ti-o compounds

·工艺与应用· 郭培涛，薛亦渝，张光勇，王汉华，马中杰 (武汉理工大学，湖北武汉430070) andTransmittancesof Thin oftheHeatTreatment Ti02 Study Films Ti—O Preparedby Compounds GU0 Pei—tao，XUEYi—yu，ZHANGGuang-yong，WANGHan—hua，MAZhong—jie (WuhanUniversityofTechnology，Wuhan430070，China) thinfilmswere with and as materials Abstract：Ti02 Ti02，Ti305Ti203 by prepared coating ofthethin beam and O+ionbeamas means．Thetransmittanees evaporationdeposition，using auxiliary filmswereexcellent．Thefilmsare afterannealthefilmshavesome deposited amorphous，and crystals whichwere iScorrelatedwithanneal an— obviously(101)oriented．The crystallization nealthetransmittanceswith and as materialsreducedbutthetransmittanceswith Ti02 Ti305 coating increased．Theresultsshowthatthe neededisdifferentfordifferentmateri— Ti203coating Oz-flux coating als．The neededfor and ismuchlessthanthatfor theredundantor0+ 02一flux Ti02Ti305 Ti203，and 02 thetransmittanceofthose offsetoftransmittancesarevariouswithdifferent canreduce films．The 02一flux and materials． coating thin words：Ti02 films；Anneal；02一flux；Transmittance Key optical 制备出的Ti0。薄膜均为非晶态结构，退火后薄膜发生晶化均具有明显的(101)择优取向；晶化的程度和退火温度的高低有不同，薄膜的透射率曲线均发生偏移，膜料不同偏移度也不同。关键