多晶si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究 research on texturing of multi-crystalline silicon solar cells with acid etch.pdfVIP

下载本文档

3
0
约3.71万字
约 5页
2017-08-31 发布于上海
举报
版权申诉

多晶si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究 research on texturing of multi-crystalline silicon solar cells with acid etch.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

多晶si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究 research on texturing of multi-crystalline silicon solar cells with acid etch

、、与显微测量微细加工技术设备，， Microscope Measurement Microfabrication Equipment 多晶太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究犛犻肖文明檀柏梅刘玉岭牛新环边征，，，，　河北工业大学微电子研究所天津（，）３００１３０　摘要：研究了采用和非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理。通过实验分析了酸混ＨＦＨＮＯ３合液的体积浓度配比添加剂温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响总结出、、；了多晶，（（）（）的酸腐蚀规律得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比Ｓｉ犞ＨＦ犞ＨＮＯ３在此基础上提出了优化设计方案采用廉价的水代替醋酸作为缓（））。：犞ＣＨＣＯＯＨ＝１∶１２∶６３蚀剂，，腐蚀过程置于超声槽中进行利用超声波的振动使反应生成的气泡快速脱离多晶片表Ｓｉ同时使腐蚀液浓度分布更加均匀从而制备出效果更佳的多晶绒面面，，Ｓｉ。关键词：多晶硅太阳电池；酸腐蚀；表面形貌；腐蚀速率；多晶硅片制绒文献标识码文章编号中图分类号：；：：（）ＴＭ９１４．４ＴＮ３０５．２Ａ１６７１－４７７６２００９１０－０６２７－０５　　犚犲狊犲犪狉犮犺狅狀犜犲狓狋狌狉犻狀狅犳犕狌犾狋犻犮狉狊狋犪犾犾犻狀犲犵狔犛犻犾犻犮狅狀犛狅犾犪狉犆犲犾犾狊狑犻狋犺犃犮犻犱犈狋犮犺，，，，ＸｉａｏＷｅｎｍｉｎＴａｎＢａｉｍｅｉＬｉｕＹｕｌｉｎＮｉｕＸｉｎｈｕａ