溅射气压对X射线多层膜反射率的影响-光子学报.PDF

30 5 光　子　学　报Vol. 30 No . 5 2001 5 ACTA PHOT ONICA SINICA May 2001 X 祝国龙　冯仕猛　邵建达　易　葵　范正修 ( , 800-211, 201800) 本文在不同的溅射气压的情况下制备了 有相同结构参量的 / 多层膜, 测出了 Mo Si 其对应的小角度X 衍射曲线, 在北京同步辐射实验室测量了多层膜的软X 射线反射率. 小 角X 射线衍射谱表明: 随着溅射气压升高, 多层膜的小角X 射线衍射曲线的高次峰的峰高急 剧变小, 半峰宽变大 . 反射率测量结果也表明: 多层膜的 射线反射率随溅射气压的升高而 X 急剧降低 . X 射线多层膜; 溅射气压; 小角X 射线衍射 0 1Mo/ Si , 1. 1Mo/ Si . , 1, 2 / . . Mo Si , , 0. 2 , 99. 9% ; Mo A Mo . X Si, 00W, , Si 99. 99% ; Ar , , : 99. 99%. 1. 0 3 - 5 - ; 10 T orr , 510 Torr, - 3 - 2 , 533. 289610 Pa 399. 967210 Pa. . , 50, 7. 16nm . 5 0. 8 9 . , nm K X X Mo/ Si , . . , . Mo/ Si . , , D/ max-3C X . , : , . X , X X , ; . . X . , , Mo Si , , . Mo/ Si 收稿日期: 2000-11-1 5 . X