第七章——其他敏感与执行原理及光mems介绍.ppt

第七章 其他敏感与执行原理及光MEMS介绍 其它敏感原理介绍 -隧道电流敏感 -谐振式敏感 -热对流式敏感 -光敏感 其它微传感器的实例 其它微执行器的实例 光MEMS 隧道电流敏感原理 在距离十分接近的隧道探针与电极之间加一个偏置电压，当针尖和电极之间的距离接近纳米量级时，电子就会穿过两者之间的势垒，形成隧道电流。 为直流驱动电压，单位为V； 为隧道电流，单 位为A； 为常数，等于 ； 为有效隧 道势垒高度，单位为eV； 为隧道电极间距，单位为nm。在标准情况下(0.5 eV，1nm)，隧道电极间距 变化0.1nm时，隧道电流 改变2倍。利用这个原理，可以设计各种微传感器。 隧道电流式微传感器是一种高灵敏度的微传感器，具有噪声小、温度系数小以及动态性能好等特点。 谐振式敏感原理 当加速度计连接的外壳的振动频率接近器件的固有频率时，共振就会发生；也就是β＝ω/ωn→1.0。检测质量在这个频率下振幅达到峰值。对微加速度计而言，器件在这一频率提供了最灵敏的输出。这种振动测量器件在共振频率处的峰值灵敏度的优势已经在微传感器设计中被利用。 Howe[1987]发展了一个分析承受纵向力的振动梁在模态1时的固有频率的理论 热对流式敏感原理 向加热元件施加一定的热功率，加热元件周围形成温度场，流体流动使温度场发生变化，分别位于上下游的检测元件之间就会产生温差。 光学敏感 光学敏感可以将角度或者位移的变化转换为光强度或者相位的改变。光学敏感为MEMS传感器的工作提供了许多优点。 a.对于利用微机械结构运动的光拾取，省去了用电偏置与电敏感的导线。由于封装复杂性的降低带来器件成本的节省在一些特定场合下显得十分突出； b.光学敏感在许多场合中可以提供特别高的灵敏度和灵活性。 各种敏感原理的优缺点 微加速度传感器 微加速度传感器 主要用于测量物体运动过程中的加速度：过载、振动和冲击 压阻式、电容式、压电式、隧道电流式微加速度计。 电容式 2) 梳状电容式微加速度计 隧道电流式 微陀螺仪 角振动式微陀螺仪 电子吸收光子，从而向高能级跃迁。能级跃迁的类型： 1）物体从价带向导带跃迁——光伏生效应 2）物体从导带向价带跃迁——光电效应 3）向稳定能级的跃迁——双折射，克耳与光电效应 4）跃迁到中间能级态和返回到基态 5）其它类似激子的结构（电子和空穴形成了具有一系 列显著能级、类似氢的分子）。 当入射光光子的能量大于被照射材料的逸出功时，就有光电子发射，称为外光电效应。 利用这种效应制成的传感器有真空光电管、光电倍增管等。 利用半导体光电导效应可制成光敏电阻 其基本原理是辐射时半导体材料中的电荷载流子（包括电子和空穴）的增殖使其电阻率发生变化。 一种特殊的材料，当有光照时其自身电阻会发生变化。 微传感器是构成任何生物MEMS产品最基本的组元。在生物医学中，常用的两类传感器是： (1)生物医学传感器 (2)生物传感器 生物医学传感器可以分成用来测量生物学物质的生物医学仪器和用以医学诊断为目的的仪器。它们通常只需要小量的样本，因而可以大大加快分析速度而且几乎没有死区。 生物医学传感器实例 血样中的葡萄糖和聚乙烯酒精溶液中的氧之间将发生下列的化学反应： 葡萄糖＋O2 葡萄糖酸内酯酶+H2O2 反应中产生的H2O2可以被加在铂电极上的电压电解，产生带正电的氢离子，并被此电极吸引。于是，血样中葡萄糖的量就可以通过测量两个电极间电流的方法得到。 生物传感器 生物传感器的工作原理基于待检测分析物与生物学方法产生的生物分子的相互作用，这些分子包括某种形式的酶、抗体和其它形式的蛋白。这些生物分子附着在传感元单元上，当它们和被分析物相互作用时可以改变传感器的输出信号。 化学传感器用来检测特定的化合物。 工作原理：很多物质对化学作用都很敏感。比如，很多金属长时间暴露在空气中都有被氧化的危险。金属表面显著的氧化层能改变材料的性能，例如金属的电阻。这些自然现象就是设计和发展微化学传感器所依据的原理。 材料对特定化学物质的敏感性是很多化学传感器的基本原理。 有机聚合物和嵌入的金属植入物一起使用。当这些聚合物暴露在某种气体下时，可以使金属的电导发生变化。例如，一种特殊的聚合物苯二甲蓝和铜一起来检测氨和二氧化氮气体。 某些聚合物可以用作电容的电介质材料。当它们暴露在某种气体中时，可以使材料的介电常数发生变化，从而改变金属电极间的电容。比如用多乙炔PPA来检测如CO, C