应用FIB技术直写SOI光子晶体的研究.PDF

第 31 卷 第 2期 武 汉 理 工 大 学 学 报 Vol .31 No .2 2009年 1 月 JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Jan .2009 DOI :10 .3963/j .issn .1671-4431 .2009 .02 .019 应用 FI B 技术直写 SO I 光子晶体的研究 1 2 2 胡文彬 ,Wico Hopman ,René de Ridder (1 .武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室 ,武汉 430070 ;2 .荷兰屯特大学集成光学微 系统研究小组 ,Ens