实验1光波导薄膜厚度和折射率的测量新格式.docVIP

光波导薄膜厚度和折射率的测量 [简介] 有效折射率是表征光波导的重要参数，知道了有效折射率，才能计算波导的传播常数，进而根据光波导的色散方程计算波导介质的厚度、介电系数等其它参数。因此,通过测量光波导的有效折射率计算波导薄膜厚度和折射率对波导器件的设计具有十分重要的意义。 [实验目的1．了解光波导结构，学习介质平板波导理论； 2．掌握测量光波导有效折射率的方法； 3．熟悉棱镜耦合激发导模的实验方法。 [实验实验原理1．介质平板波导理论 介质平面波导由三层介质构成，如图1 所示。在衬底和覆盖层之间有一层波导层，通常覆盖层为空气。设衬底、波导层和覆盖层的折射率分别为n2 、n1 、n0 ，h为波导层厚度（(m量级）。 波导层中形成导模的必要条件是：。光在波导层中传播，光场是振荡的，而在衬底和覆盖层中则以指数衰减的形式存在。 波导层中的导模满足色散方程，对于TM 模，色散方程可写为： (1.1) 对于TE 模，色散方程可写为： (1.2) 式中： (1.3) (1.4) (1.5) 其中(为传播常数。k0为真空中