三铟In金属靶材×国家试验研究院.DOC

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 加速CIGS製程平台開發暨因應未來趨勢之CIGS技術開發-CIGS太陽能電池濺鍍靶材 招標規範書 招標規範書目錄 招標規範書目錄 2 一、工作範圍 3 二、各靶材規範 3 三、審查文件 4 四、履約時程 5 五、驗收及保固 5 六、其他 5 一、工作範圍 本規範適用、、、、、、之製造、、要求各規範 2.1.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 10(T) mm 2.1.2 純度：99.995% (二) 錫(Sn)金屬靶材 × 1 2.2.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 5(T) mm 2.2.2 純度：99.95% 2.2.3 含5mm厚度之銅金屬背板及Bonding費用 (三) 銦(In)金屬靶材 × 2 2.3.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 4(T) mm 2.3.2 純度：99.99% 2.3.3 含6mm厚度之銅金屬背板及Bonding費用 (四) 鉬(Mo)金屬靶材 × 2 2.4.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 10(T) mm 2.4.2 純度：99.95% (五) 鋁(Al)金屬靶材 × 1 2.5.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 10(T) mm 2.5.2 純度：99.999% (六) 直流濺鍍用之本質氧化鋅(ZnO)金屬氧化物靶材 × 1 2.6.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 6(T) mm 2.6.2 純度：99.95% 2.6.3 含6mm厚度之銅金屬背板及Bonding費用 (七) 氧化銦錫(ITO)金屬氧化物靶材 × 2 2.7.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 6(T) mm 2.7.2 純度：99.99% 2.7.3 含6mm厚度之背板及Bonding費用 (八) 銅鎵(Cu/Ga)合金靶材 × 1 2.8.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 6(T) mm 2.8.2 重量百分比(誤差為+/-0.5 wt%)：Cu/Ga = 75.32/24.68 2.8.3 純度：99.99% , 密度：8.6 g/cm3 , 熔點：855-990 oC 2.8.4 含6mm厚度之銅金屬背板及Freiloc-V4 Bonding費用 (九) 銅銦鎵(Cu/In/Ga)合金靶材 × 1 2.9.1 尺寸：450(L) x 88(W) x 6(T) mm 2.9.2 重量百分比(誤差為+/-0.5 wt%)：Cu/In/Ga = 33.2/53.0/13.8 2.9.3 純度：99.99% ,密度：7.8 g/cm3 , 組成：π-phase 2.9.4 含6mm厚度之銅金屬背板及Freiloc-V4 Bonding費用 三、審查文件 1. 曾完成與本案招標標的類似之供應證明文件（如：訂購單、合約書或驗收等證明文件）。 四、履約期限 決標次日起21個日曆天(所有假日皆計入)內完成交貨。 五、驗收及保固 得標廠商必須出具靶材出廠時之成分分析測試報告，，，，如保固期間，一經業主通知，應派員免費。其他 承包廠商於投標前與業主充分溝通，且依照業主意見、需求評估再參與投標。商因配合不當或進度緩慢，因而延誤期或使業主蒙受損失時，概由商負責。 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 請購編號：NDL-P-099頁 數 PAGE: 5 OF 5 購案名稱： 本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產，非由書面許可，不准透露或使用本文件，亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。