山东建筑大学——传感器3_5节磁敏传感器2.pptVIP

传感器技术及应用机械09 2011～2012第二学期 2012年3月 5.6 磁敏传感器 半导体磁敏传感器：可将磁场强度参数转变为电参数的传感器。 种类：霍尔传感器、磁敏电阻传感器、磁敏二极管、磁敏晶体管等。 特点： 可实现非接触检验，寿命长、可靠性高。 从直流（0Hz）到高频（数十GHz）其特性完全一样。 不仅能够测量运动磁场强度,也能测量静止的磁场。 能够使器件小型化和集成化。 一、霍尔元件 霍尔电压形成的定性说明 (a)磁场为0时，电子在半导体中的流动; (b)磁场不为0，电子在劳伦兹力作用下发生偏转; (c)电荷积累达到平衡时,电子在流动 二、 磁敏电阻 磁敏电阻是一种电阻随磁场而变化的磁敏元件，也称MR元件。它的理论基础为磁电阻效应。 1、工作原理 磁电阻效应： 将载流导体（金属或半导体）置于外磁场中，不但产生霍尔效应（电势或电场），同时电阻也会随磁场而变化。这种现象成为磁敏电阻效应，简称磁电阻效应。 2. 作用机理 外磁场改变了导体载流子迁移的路径，致使与外界电场同方向的电流分量减小，等价于电阻增大 （1）物理磁阻效应 具有两种载流子的材料通电后，电子和空穴电流密度分别为 jn 和jp ，总电流密度j 磁敏电阻材料 当材料中仅存在一种载流子时，磁阻效应几乎可以忽略，此时霍尔效应更为强烈。在电子和空穴都存在的材料（如InSb）中，则磁阻效应很强。 一般使