各管路的连接说明-国家试验研究院.DOC

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 『』 招標規範 目錄 頁次 一、 說明： 2 二、 採購標的需求明細及規格： 3 三、 履約期限 4 四、 驗收標準 4 五、 交付使用者文件 5 六、 教育訓練 5 七、 審查文件與報價範圍 6 八、 保固 6 九、 規範書釋疑聯絡人： 7 說明： 本規範適用於財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室本次採購應用於銅銦鎵硒太陽能製，包含有氰化鉀硫化鎘，其他詳如下述章節規定；本規範如有任何疑慮依業主解釋為準。 採購標的需求明細規格 投標廠商使用的品須符合或優於以下所訂規格：： 氰化鉀 2-2-1硫化鎘鍍膜機二次配管:氣管部份包含N2 Gas管路, CDA Gas管路與一Alkali Exhaust抽氣管，連接設備端與廠務端。。。Acid Exhaust抽氣管，連接設備端與廠務端。。。Solvent Exhaust抽氣管，連接設備端與廠務端。 2-2-4 氰化鉀Alkali Exhaust抽氣管，連接設備端與廠務端。。 2-2-5 氨水清洗槽: 氣管部份包含N2 Gas管路, CDA Gas管路與一Alkali Exhaust抽氣管，連接設備端與廠務端。Solvent Exhaust，Alkali Exhaust或Acid Exhaust，將其管路分開並作安全管理以保證環境安全性與不影響各設備製程結果。 履約期限 決標次日起日曆天 (所有假日皆計入) 內完成安裝 驗收 4-1 品質規格驗證： 4-1-2 連接於各設備的DI水壓需符合2 kg/cm^2，流量需符合20 L/min 4-1-3 連接於各設備的CDA氣壓需符合6 kg/cm^2，流量需符合200 L/min 4-1-4 連接於各設備的N2氣壓需符合5 kg/cm^2，流量需符合200 L/min 4-1-5 連接於各設備的Exhaust管路所需規格如下: Solvent Exhaust:抽氣壓力需符合-0.1 kg/cm^2，流量需符合5000 L/min Alkali Exhaust:抽氣壓力需符合-0.1 kg/cm^2，流量需符合10000 L/min Acid Exhaust: 抽氣壓力需符合-0.1 kg/cm^2，流量需符合10000 L/min 4-2 製程驗證： DI Water供水，DI Water於各製程中使用時，均不會影響製 程反應結果 4-2-2 連接於各設備的酸鹼廢液管內的殘餘廢液不會因管路材質問題產生質變而 影響製程反應結果 交付使用者文件 5-1管路圖…至少兩。 訓練內容至少應含以下各項：。。。。基本維修。 7-1廠商於投標前可至本實驗室現場勘查並實際與業主討論，以確認需求。 本案審查文件如下： 7-1-1具有與本案招標標的類似(Solar cell製程提供圖說。 ：費用。第二節規範之所有部件。費用。 保固 自全部正式驗收合格日起一年保固。除消耗性零件外，保固期限內，如由於設計不良，所引起之故障及毀損時，無條件免費修理或更換新品。保固期間內，廠商需提供在台灣地區，專門維修的技術維護人員，可以提供緊急維修的服務。保固期間內，若發生異常，廠商的技術維護人員，一般工作日應於接到本實驗室通之後24小時以內，到達現場處理問題。非上班時間，應於接到本實驗室通之後48小時以內，到達現場處理問題。在保固期內的任何部品損壞須可在二週內維修完成或有替代品更換。 規範書釋疑聯絡人： 投標廠商對本採購案所列規範有任何問題，請於招標期間釋疑期限內，向本實驗室奈米能源與光電元組 沈昌宏博士詢問。電話：03-5726100 分機7640。 招標案號：頁 數 PAGE: 6 OF 7 購案名稱： 本財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES.