基于pn导电转变的二氧化钛对CO高温感应性能的研究-无机材料学报.PDF

第 27 卷 第 5 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 27 No. 5 2012 年 5 月 Journal of Inorganic Materials May, 2012 文章编号: 1000-324X(2012)05-0458-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.00458 基于 p-n 导电转变的二氧化钛对 CO 高温感应性能的研究 张建伟, 孙芳洁, 李晓干, 余 隽, 王 兢, 闫卫平, 唐祯安 (大连理工大学 电子科学与技术学院, 传感技术研究所, 大连116024) 摘 要: 研究了以金红石 TiO2 半导体材料为气敏材料的一氧化碳(CO)传感器在 600~800℃之间的气敏性能. 该传感 器在测试温度 600~700℃时对 20~2000 mg/m3 的 CO(载气为氮氧混合物且氧气含量为 2%~25%)表现出 p 型电导行 为. 随着测试温度从 600℃升高至 700 ℃, 传感器的感应强度迅速下降到接近于 1. 当温度升高到 750 ℃以上时, 传 感器再次出现对 CO 的感应强度并且表现出 n 型导电行为. 随着温度升高到 800℃, 传感器对 CO 的 n 型感应信号 进一步增强, 表现出良好的高温感应性能. 利用交流阻抗谱仪对该 TiO2 敏感材料的高温导电特性进行了研究, 并 初步讨论了 TiO2 在高温下对 CO 还原气氛的诱导导电性能变化的原因. 关 键 词: TiO2 ; p-n 导电行为转变; 高温 CO 传感器; 交流阻抗谱 中图分类号: TQ174 文献标识码: A CO Sensing Properties of TiO Based on the p-n Transition Induced by 2 Carbon Monoxide at High Temperatures ZHANG Jian-Wei, SUN Fang-Jie, LI Xiao-Gan, YU Jun, WANG Jing, YAN Wei-Ping, TANG Zhen-An (Institute of Sensor technologies, School of Electronic Science and Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) Abstract: Rutile TiO2 based semiconductor-type sensors were investigated for sensing CO within the temperature range from 600 ℃ to 800 ℃. The sensor showed p-type behavior to CO (20−2000 mg/m3) when tested in oxygen con- cent